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Edwards 的 nEXT 渦輪分子泵站系列采用新，可提供的真空解決方案，易于安裝和操作。

Edwards 渦輪分子泵站均配有 TIC 渦輪和儀表控制器，這樣只需通過控制面板即可操控系統(tǒng)啟動/停止，并且易于集成 Edwards 有源真空計(jì)。

根據(jù)您的需求配置：
多種渦輪分子和后備泵可供選擇

組裝：
無需系統(tǒng)化

易于操作：
且使用簡單，采用串行通信控制

對于 47 l/s 到 84 l/s 的抽取速度需求，我們?yōu)槟峁┲档眯刨嚨?nEXT85H 泵，該款產(chǎn)品提供多種可選的濕式和干式后備泵和 TIC100。對于 240l/s 到 400l/s 的抽取速度需求，則可以選擇基于 nEXT 泵的新款 Turbo 泵站，該產(chǎn)品為終用戶帶來更靈活的易維護(hù)性，并提供可選的后備泵、 Turbo 泵和儀表 TIC200。

油封泵標(biāo)配有一個 EMF 油汽過濾器，nXDS 干式渦旋泵在 Turbo 泵和后備泵之間標(biāo)配有一個隔離閥。

特性與優(yōu)勢

E2M1.5 或 XDD1 大容量后備泵提供油封泵或全干式直流隔膜泵兩種選擇
集成式空氣冷卻器用于冷卻內(nèi)部電源和泵/控制器，可實(shí)現(xiàn)安靜運(yùn)轉(zhuǎn)且避免使用多個風(fēng)扇
全新定制的 TAG（Turbo 和有源真空計(jì)）控制器具有以下特性：
- 通過單個按鈕即可啟動和停止泵，可實(shí)現(xiàn)簡單的自動化操作
- 渦輪轉(zhuǎn)速以百分比形式顯示，以易讀性和準(zhǔn)確性
- 可以控制包括 APG100、AIM、ASG 或 WRG 在內(nèi)的有源真空計(jì)之一并且可以選擇不同元件，這意味著無需為真空計(jì)顯示花費(fèi)額外成本
- 時(shí)間延遲渦輪啟動，如裝有真空計(jì)還可實(shí)現(xiàn)壓力延遲渦輪啟動，可以使較大系統(tǒng)自動啟動
- 可選擇通風(fēng)模式，在此模式下 TAV5 排氣閥用于無用戶干預(yù)的情況下自動排氣
提供 NW40、ISO63 或 CF63 入口法蘭以適配您的應(yīng)用。
TAV5 排氣閥可以直接插入 DX 模塊，控制器支持 3 種模式選擇，以實(shí)現(xiàn)大靈活性：
- 可控通風(fēng)，從全速 () 到 50% 轉(zhuǎn)速的硬性通風(fēng)
- 50% 轉(zhuǎn)速的硬性通風(fēng)
- 風(fēng)扇（輸送至插座的連續(xù)功率，與空氣冷卻器配套使用進(jìn)行遠(yuǎn)程泵安裝，或用于無需通風(fēng)的應(yīng)用）

數(shù)據(jù)

N2 抽取速度
NW40	48 ls-1
ISO/CF63	84 ls-1
N2 壓縮率	>1 x 1011
后備泵速度 @50 Hz
E2M1.5 (TS85W)	1.6 m3h-1
XDD1 (TS85D)	1.2 m3h-1
極限壓力	<5 x 10-8 mbar
入口法蘭	NW40、ISO63 或 CF63
排氣口法蘭
E2M1.5 (TS85W)	11 mm 外徑噴嘴或 3/8" BSP
XDD1 (TS85D)	裝有消音器或 1/8" BSP
重量
E2M1.5 系統(tǒng) (TS85W)	21 kg（大值）
XDD1 系統(tǒng) (TS85D)	17 kg （大值）
噪聲級	56 dB(A)
泄漏密封度	<1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍	12 至 40 °C

應(yīng)用

加速器
分析和表面物理
射束線
電子束焊接
玻璃鍍膜
高能物理
表面科學(xué)
UHV 系統(tǒng)

Turbo 泵

在 Edwards，我們深知真空泵應(yīng)當(dāng) 在要求嚴(yán)苛的應(yīng)用中為我們的客戶展現(xiàn)的性能。正因如此，我們了 nEXT ，以大限度性能，帶來 Turbo 泵的全新體驗(yàn)。
傳統(tǒng)的 Turbo 泵轉(zhuǎn)軸通常只能滿足高速或高壓縮中的一種要求。為了消除這種此消彼長的效應(yīng)，我們對 nEXT 轉(zhuǎn)軸的葉片排列進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，以期優(yōu)化泵的性能并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)高速和高壓縮。
終結(jié)果是，我們制造出了同尺寸產(chǎn)品中性能的泵。

泵系列：