數(shù)據(jù)

壓力范圍	10-9 mbar 至 1 bar（）
	8 x 10-10 - 750 Torr
泄漏值	< 10- 9 mbar l s- 1
	8 x 10-10 Torr l s- 1
閥板上的大壓力差	1 bar / 750 Torr，在任一方向上
打開時閥板上的大壓力差	20 mbar/15 Torr
位置指示器開關(guān)，分?jǐn)嗄芰?	24 V 直流，5 A
構(gòu)造材料
主體，閥板	AISI 304 不銹鋼
機構(gòu)	AISI 304 不銹鋼，
軸承	淬硬高碳鉻鋼
簧環(huán)	SS PH 15-7 鉬
波紋管	AM 350 不銹鋼
密封件，閥板	氟橡膠
閥蓋
金屬密封閥	OFHC
其他閥	氟橡膠
加熱溫度
閥體，閥打開	150 °C（氟橡膠閥蓋密封件）
閥體，閥打開	250 °C（金屬閥蓋密封件）
閥關(guān)閉	200 °C
執(zhí)行器，氣動	100 °C
**檢修前的平均壽命	100000 次關(guān)閉
固定位置	任何方向
氣動工作壓力	4 - 5.5 bar / 60 - 80 psi
法蘭內(nèi)徑	160 mm
	6 in
高真空中的電導(dǎo)	6300 l s-1
氣動閥短關(guān)閉
和打開時間（5 bar 時）。	1.5 s
大約重量	23 kg

  
           取決于真空環(huán)境和打開及關(guān)閉速度。