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概述

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協作設計的，可以使泵在前級管線維護期間繼續(xù)運行，從而使在嚴苛制程中運行的泵具有高的性和正常運行時間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥密封兩側 1 bar 的差壓。

雖然 BGV 閥主要用于隔離半導體工廠地下室內的泵，但這些閥也適用于開啟時需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應用場合。

功能和優(yōu)勢

與密封 VAT 合作。
不銹鋼結構，采用獲得的設計，使用
簡單的無油脂機構大程度減少了多塵制程中因微粒導致的損壞
可以在 1 bar 差壓下運行，因此無需進行壓力平衡
維修方便，只需要的易耗品，低運行成本
表面光滑，易于清潔
提供時已安裝螺線管和電線，便于訂購和安裝
即插即用，在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導體干泵兼容。

數據

泄漏值
殼體	< 1 x 10-9 mbar ls-1
閥座	< 1 x 10-7 mbar ls-1
壓力范圍	1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的壓差	1.2 bar（在任一方向上）
打開時的壓差	1 bar
**檢修前的循環(huán)數	5, 000
大工作溫度
閥體	120 °C
手動執(zhí)行器	80 °C
氣動執(zhí)行器	80 °C
位置指示器	60 °C
螺線管閥	50 °C
分子流電導
NW50	300 ls-1
ISO63	400 ls-1
ISO80	1100 ls-1
ISO100	1700 ls-1
ISO160	4600 ls-1
重量
NW50	3.3 kg (7.3 lbs)
ISO63	6.6 kg (14.6 lbs)
ISO80	7.0 kg (15.4 lbs)
ISO100	8.5 kg (18.7 lbs)
ISO160	17.7 kg (39.0 lbs)
構造材料：
殼體	AISI 304 不銹鋼
閥蓋	黑色陽極化鋁
插板	AISI 304 不銹鋼
助滑器	PEEK
波紋管	AISI 633 不銹鋼
密封件	氟橡膠
插板固定螺釘	A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜
手柄	強化聚酰胺
手動閥
進行開/關操作的手柄轉動方式
NW50	22
ISO63	27
ISO80	33
ISO100	39
ISO160	41