這類閥是軟啟動的氣動操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會導(dǎo)致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。

隨動閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進行，以盡可能減少干擾。隨動閥和主閥都需要單獨的氣動連接。

• 當隨動閥打開時，氣流以較低流速在閥的兩側(cè)間流過可更換孔板，實現(xiàn)慢抽速。達到用戶的預(yù)定義壓力級別后，主閥門會根據(jù)用戶提供的信號打開，實現(xiàn)全通徑泵送。
  波紋管密封的閥門單向執(zhí)行，采用氣動打開，彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個可更換孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。標準配置中包含一個微開關(guān)，用于指示閥門狀態(tài)。閥門和微開關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣，防止制程氣體在閥門內(nèi)冷凝。
  盡管閥門主要設(shè)計用于半導(dǎo)體行業(yè)，但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。