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iH1000 半導(dǎo)體干式真空泵

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)iH1000

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)代理商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：徐建成查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-03-16 07:50:35瀏覽次數(shù)：245次

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Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

概述

Edwards 半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖
  • 輸送
  • 計(jì)量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 預(yù)清潔
  • RTA
  • 剝離/灰化
  • 刻蝕
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD

有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請(qǐng)與 Edwards 聯(lián)系。

數(shù)據(jù)

峰值速度 1000 m3h-1
589 cfm
16670 l min-1
極限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進(jìn)氣口連接 ISO100
連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 430 kg
極限功率輸入 3.8 kW
電機(jī)額定功率 6.1 kW
油容量 1.48 l

  
數(shù)字均為無(wú)氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。

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