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在線微量濕度異動變送器

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產(chǎn)品型號Pura Plus

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地

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更新時間：2021-08-11 09:53:39瀏覽次數(shù)：493次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：52條

所在地區(qū)：廣東珠海市

聯(lián)系人：盧玨 （銷售）

產(chǎn)品簡介

新型的PuraPlus是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標的需求變化而特殊設(shè)計的

詳細介紹

新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。



亮點

  • 對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng)
  • 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
  • 多點測量安裝的全新概念
  • 維護要求低
  • 信號燈式的狀態(tài)指示
  • 可設(shè)置警告和報警點
  • Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
  • 遠程控制界面的多通道軟件
  • (UHP) 超純氣體的管線檢測
Pura Plus

技術(shù)指標

響應(yīng)速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間
濕度量程1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍0 to 10 bar
耐壓等級300 bar
泄漏測試0-9 mbar l/s
工作流量范圍1 ~ 10 l/min
工作溫度5 ~ 40°C
存儲溫度30 ~ 70°C
電源20 ~ 28 V DC
功耗5 W
外部保險絲等級500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出2 路
電壓40 V DC
電流100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護, 下層鋁層
內(nèi)部容積4.4cm³
重量450g
氣路接口1/4" m VCR
電氣接口9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性EN50081-2 和 EN50082-2

關(guān)鍵詞：傳感器

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