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珠海歐伯特測控技術有限公司


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高純氣露點變送器 / 在線露點儀

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產品型號Pura

品       牌

廠商性質代理商

所  在  地

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更新時間:2021-08-11 09:48:56瀏覽次數:448次

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經營模式:代理商

商鋪產品:52條

所在地區(qū):廣東珠海市

聯(lián)系人:盧玨 (銷售)

產品簡介

在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要

詳細介紹

在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業(yè)經驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。




亮點

  • 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
  • 測量穩(wěn)定,重復性好
  • 高度集成的采樣裝置
  • 模擬和數字輸出
  • 安裝簡便
  • VCR 過程接口
  • 設計緊湊小巧
  • 顯示/報警單元可選
Pura

技術指標

傳感器
傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
量程-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
輸出4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài)標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光
氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

關鍵詞:傳感器

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