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更新時間：2021-07-21 16:53:02瀏覽次數(shù)：357次
聯(lián)系我時，請告知來自 制藥網(wǎng)產(chǎn)品詳情一、概述1、氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過浮子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐,再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口
產(chǎn)品詳情 一、概述 1、氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過浮子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐,再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接 真空泵，一端連接出氣口。 2、 混氣罐上接有壓力表，壓力表顯示盤與浮子流量計安裝在同一面板上。 3、每一條氣體管路均有一個高壓截止閥。 4、該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。 5、 所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。 二、技術(shù)參數(shù)： 氣路通道： 2 、3 、4、5 、6 、7（可根據(jù)需要確定） 氣路流量控制：采用浮子流量計或采用質(zhì)子流量控制器。 質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)： 接 口： Φ6 顯 示： 刻度 工作環(huán)境溫度: 5~45℃ 流量控制器：浮子流量計或質(zhì)子流量控制器( 量程可根據(jù)需要確定) 50-500 ml/ min 2ml/ 格 10-100ml/min 2ml/ 格 四 氟 管：Φ6 外 X Φ4 內(nèi) 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/ 格 截 止 閥：Φ6 三、質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)： 產(chǎn)品名稱: 質(zhì)子流量控制器 產(chǎn)品類型: 氣體質(zhì)量流量計 /D07 系列質(zhì)量流量計 產(chǎn)品描述 :普通型，模擬電路 產(chǎn)品詳細(xì)描述:普通型，模擬電路，橡膠密封， 管狀分流，不易堵塞。 主要指標(biāo): · 量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （可以任意選擇量程） · 準(zhǔn)確度：±1.5% F.S · 線性：±0.5～1.5% F.S · 重復(fù)精度：±0.2% F.S · 響應(yīng)時間：10S · 氣壓降：<0.01MPa · 更大壓力：3MP · 工作環(huán)境溫度：5～45℃ · 輸入輸出信號：0～+5.00V · 電源：+15V 50mA -15V 50mA · 外形尺寸：158*30*110 · 重量：0.9 Kg |
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