參考價	￥158340
訂貨量	1臺

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	產(chǎn)品大小	小型
產(chǎn)品新舊	全新	結(jié)構(gòu)類型	半封閉式,立式
結(jié)構(gòu)類型	半封閉式,立式	溫度	低溫冷水機(jī)

【無錫冠亞】半導(dǎo)體控溫解決方案主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。半導(dǎo)體循環(huán)制冷機(jī) 集成電路水冷散熱模組

詳細(xì)介紹

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機(jī)和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體行業(yè)主營控溫產(chǎn)品：

半導(dǎo)體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測試機(jī)

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測試機(jī)

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案

型號	FLT-002	FLT-003	FLT-004	FLT-006	FLT-008	FLT-010	FLT-015
型號	FLT-002W	FLT-003W	FLT-004W	FLT-006W	FLT-008W	FLT-010W	FLT-015W
溫度范圍	5℃～40℃
控溫精度	±0.1℃
流量控制	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 6bar max			25～75L/min 6bar max
制冷量at10℃	6kw	8kw	10kw	15 kw	20kw	25kw	40kw
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等（DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ZG1	ZG1
冷卻水口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG1	ZG1	ZG1	ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
電源380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
溫度擴(kuò)展	通過增加電加熱器，擴(kuò)展-25℃～80℃

半導(dǎo)體循環(huán)制冷機(jī) 集成電路水冷散熱模組

　　在芯片制造過程中，淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller作為一種關(guān)鍵設(shè)備，發(fā)揮著一定作用。本文將對芯片制造工藝中的淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller進(jìn)行詳細(xì)介紹。

　　一、淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller的作用

　　淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller在芯片制造工藝中主要起到冷卻作用。在芯片制造過程中，各種設(shè)備產(chǎn)生的熱量較高，如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等，如果熱量控制不當(dāng)，將會影響芯片的制造質(zhì)量和效率。淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller通過循環(huán)冷卻水將設(shè)備產(chǎn)生的熱量帶走，確保設(shè)備在穩(wěn)定的溫度環(huán)境下運(yùn)行，從而保證芯片制造的穩(wěn)定性和精度。

　　二、淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller選購的流程

　　1、設(shè)備選型

　　根據(jù)芯片制造工藝的具體需求，選擇適合的淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller設(shè)備。需要考慮的因素包括設(shè)備的冷卻能力、穩(wěn)定性、可靠性、易維護(hù)性等。

　　2、設(shè)備安裝

　　淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller設(shè)備需要安裝在合適的位置，以便與芯片制造工藝中的其他設(shè)備進(jìn)行連接和配合。安裝過程中需要注意設(shè)備的安裝精度和穩(wěn)定性，確保設(shè)備能夠正常運(yùn)行。

　　3、設(shè)備調(diào)試

　　安裝完成后，需要對淺溝道隔離槽刻蝕雙通道chiller設(shè)備進(jìn)行調(diào)試，確保其正常運(yùn)行并達(dá)到預(yù)期的冷卻效果。調(diào)試過程中需要對設(shè)備的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行監(jiān)測和調(diào)整，以確保其滿足芯片制造工藝的要求。