光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些

光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些

　　為確保光刻機(jī)用冷水機(jī)組的靠譜及正常運(yùn)行，防止不適當(dāng)?shù)乃涔苈肥┕ぴ斐傻睦渌畽C(jī)故障，安裝本機(jī)組時(shí)應(yīng)注意下列事項(xiàng)：

　　光刻機(jī)用冷水機(jī)組的電源注意事項(xiàng)

　　1、光刻機(jī)用冷水機(jī)組電源采用三相四線、電源線接電源火線，接零線，（G）接地線。

　　2、光刻機(jī)用冷水機(jī)組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內(nèi)接柱上，保證連接緊固。

　　3、機(jī)組配電要求：主電源電壓：額定電壓范圍以內(nèi)。

　　4、主電源電壓波動(dòng)超過(guò)規(guī)定范圍時(shí)，不準(zhǔn)起動(dòng)冷水機(jī)、否則視作操作不當(dāng)，由此引起的損壞不在本公司保養(yǎng)范圍之內(nèi)。

　　5、水系統(tǒng)之水流開關(guān)、水泵、冷卻水塔電機(jī)等聯(lián)鎖電路必要時(shí)可正確連接在機(jī)組控制電路中。

　　6、光刻機(jī)用冷水機(jī)組設(shè)有電流過(guò)載保護(hù)、壓縮機(jī)排氣端之高低壓保護(hù)，馬達(dá)線圈過(guò)熱保護(hù)、防冰保護(hù)，冷卻水之水流連鎖保護(hù)等多種措施，切勿擅自改動(dòng)、如需改動(dòng)請(qǐng)與廠家聯(lián)絡(luò)。

　　光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝注意事項(xiàng)

　　1、吊運(yùn)安裝光刻機(jī)用冷水機(jī)組時(shí)注意不要損壞機(jī)組，合理布局光刻機(jī)用冷水機(jī)組周圍空間，以方便維修保養(yǎng)光刻機(jī)用冷水機(jī)組。

　　2、按照對(duì)配管系統(tǒng)設(shè)計(jì)及施工安裝的要求，合理設(shè)計(jì)和安裝凍水及冷卻水系統(tǒng)，以充分發(fā)揮光刻機(jī)用冷水機(jī)組性能。

　　3、機(jī)組應(yīng)水平放置，及安裝在通風(fēng)位置。

　　4、根據(jù)機(jī)組制冷能力選用匹配的冷卻塔。

　　5、機(jī)組配管請(qǐng)參照本公司建議之配管方法安裝施工。

　　6、水源及散熱水塔周圍環(huán)境惡劣時(shí)，冷凍水和冷卻水回路須安裝Y型過(guò)濾器及定時(shí)清理，封閉冷凍水系統(tǒng)較高處須安裝自動(dòng)排氣閥、系統(tǒng)較低處安裝排水接頭，以系統(tǒng)排水用。

7、冷凍水管路系統(tǒng)通過(guò)試漏后，包保溫層，避免冷量散失及管路滴水。