技術(shù)文章
半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置使用須知
發(fā)布時(shí)間:2022-1-19半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置是運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì)不可燃流體控溫場(chǎng)所,是半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用元件制冷制熱、控溫測(cè)試的一種設(shè)備。那么,這種設(shè)備應(yīng)該注意什么呢?

半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置注意事項(xiàng)
1、半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置的電源采用三相四線制,電源線連接電源線、零線和地線。用電控箱上的穿孔將機(jī)組的主電源線連接到箱內(nèi)的接線柱上,確保連接緊密。
2、主電源電壓:在額定電壓要求范圍內(nèi);
3、當(dāng)主電源電壓波動(dòng)超過規(guī)定范圍時(shí),不允許啟動(dòng)半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置否則視為操作不當(dāng),由此造成的損壞不在我公司維修范圍內(nèi);
4、半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置設(shè)有電流過載保護(hù)、壓縮機(jī)排氣端高低壓保護(hù)、電機(jī)線圈過熱保護(hù)、防冰保護(hù)、冷卻水流量聯(lián)鎖保護(hù)等措施和控制電路;
5、無錫冠亞半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置的控制電路已在工廠安裝調(diào)試完畢,未經(jīng)授權(quán)不得更改。如需更改,請(qǐng)聯(lián)系無錫冠亞技術(shù)人員。
半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置特點(diǎn):
1、半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置的介質(zhì)循環(huán)系統(tǒng)保壓測(cè)試7bar。
2、半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置采用高品質(zhì)磁力泵,沒有機(jī)械軸封。
3、優(yōu)化溫度采樣及響應(yīng)速度,專門設(shè)計(jì)控制算法,能快速響應(yīng)到控溫穩(wěn)定。
4、無錫冠亞半導(dǎo)體高低溫測(cè)試裝置增強(qiáng)循環(huán)泵能力設(shè)計(jì),滿足系統(tǒng)高揚(yáng)程需求。
5、持續(xù)高溫降溫技術(shù),滿足在熱沉板加載熱量,需要冷熱恒溫控制時(shí)穩(wěn)定運(yùn)行。
6、針對(duì)氟化液易揮發(fā)特點(diǎn),加強(qiáng)了接頭設(shè)計(jì)、系統(tǒng)密封設(shè)計(jì),確保介質(zhì)使用壽命。
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