元素分析氬氣純化器全自動(dòng)氬氣純化器一鍵式氬氣純化機(jī)

高純氬氣主要用途：用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等

氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣，為了提高硅晶體的質(zhì)量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個(gè)議題。通過(guò)對(duì)本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時(shí)，水分也小于1ppm時(shí)，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求，贏得客戶的滿意和市場(chǎng)的需求。

元素分析氬氣純化器全自動(dòng)氬氣純化器一鍵式氬氣純化機(jī)由于一般液氬汽化后未經(jīng)過(guò)純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過(guò)了此范圍，但使用氬氣的客戶確不知道其質(zhì)量，所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何，只要經(jīng)過(guò)純化裝置的處理后，進(jìn)入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，這樣穩(wěn)定的氬氣對(duì)生產(chǎn)晶體質(zhì)量是有保證的。

 氬氣純化裝置是針對(duì)需要使用超高純度氬氣的客戶而設(shè)計(jì)的。全自動(dòng)氬氣純化裝置，具有觸摸面板一鍵式啟動(dòng)、停止工作，操作簡(jiǎn)單明了。裝置工作設(shè)有兩組工作組，交替工作，循環(huán)使用。其中一組工作，另一組再生冷卻備用。工作組工作無(wú)需加熱，為常溫工作。對(duì)應(yīng)面板觸摸屏可查看設(shè)備組成硬件、操作簡(jiǎn)介、觀察、監(jiān)視工作組工作狀態(tài)、再生組再生狀態(tài)、工作組工作時(shí)間、切換時(shí)間、設(shè)備總工作時(shí)間、再生加氫及加熱時(shí)間和報(bào)警信息狀態(tài)。