高溫充氮無氧烘箱

主要用于光刻膠固化、精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，參考國外同類產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)的無氧烤箱。

主要特點(diǎn)：

1.選用全陶瓷纖維保溫，升溫快、節(jié)能環(huán)保。

2.*的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐內(nèi)溫度均勻。

3.吸風(fēng)口玻纖過濾器，確保潔凈度的要求。（充氮無塵烘箱使用）

一、技術(shù)參數(shù)：

1.規(guī)格型號(hào)：TWY-100

2.使用溫度：RT～400℃或450℃；

3.爐膛尺寸≥：450×450×500mm（W×D×H），單腔體；

4.爐膛材料：SUS304無磁性鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器、熱偶；

5.空爐升溫時(shí)間：約1.5-2h；空爐降溫時(shí)間：300℃-50℃降溫時(shí)間1.5-3.5小時(shí)(采用水冷翅片散熱器)；或風(fēng)冷（選配）；
6.氧含量記錄:無紙記錄儀（上海英盛）。

7.溫度記錄儀：日本RKC儀表

8.溫度過沖：約8-10℃；溫度分布：±5℃-8℃，一個(gè)測(cè)溫點(diǎn)

9.溫度偏差：±5℃-8℃

10.鼓氮流量（標(biāo)準(zhǔn)）：開始時(shí)200L流量計(jì)，后面保持120L流量計(jì)，分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)流量計(jì)

二、氧含量（配氧分析儀）：會(huì)根據(jù)不同的氧含量濃度配流量計(jì)

1.氧含量濃度：≤ 100ppm、≤ 50ppm、 ≤ 20ppm

2.控溫穩(wěn)定度：±1℃；溫度均勻度：±2.5%（500℃平臺(tái)）。

三、控制輸出:

1.控溫儀表：RKC溫控儀表；

2.控制：爐腔單獨(dú)控溫、通氣、報(bào)警保護(hù)；

3.控溫段數(shù)：4×10段；控溫點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)；

4.超溫報(bào)警點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)；檢測(cè)點(diǎn)數(shù)：1點(diǎn)；

5.報(bào)警保護(hù)：超溫、斷偶等聲光報(bào)警保護(hù)；超溫保護(hù)：獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器；6.電機(jī)保護(hù)：電機(jī)過電流、水冷保護(hù)； 表面溫升：＜30℃；