1、升華室主要包括有不銹鋼容器，不銹鋼高溫閥、壓力表、電熱合金絲發(fā)熱體、質(zhì)子流量計、熱電偶、溫控裝置和保溫系統(tǒng)。主要用于對前驅(qū)體的加熱升華和調(diào)控通入反應室的氣體流量, 控溫溫度可以在100-700℃之間自由設定，由K分度號熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實現(xiàn)升華室溫度的自動程序升降，控溫精度：±1℃，升華室配置數(shù)量為2個。

2、反應室主要包括不銹鋼容器、壓力表、質(zhì)子流量計、電熱合金絲發(fā)熱體、熱電偶、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)、載物臺?？販販囟瓤梢栽?00-900℃之間自由設定，由K分度號熱電偶+精密數(shù)顯程序控溫儀實現(xiàn)反應室溫度的自動程序升降，控溫精度：±1℃，反應室配置數(shù)量為1個。

3、氣路系統(tǒng)采用∮6×1mm，316L材質(zhì)不銹鋼管實現(xiàn)氣體的運輸、氣體流量的精確控制、減壓閥的準確快速切換以及廢氣的處理。在氣體運輸過程中，需要對管道進行加熱保溫處理，防止混合氣體在運輸過程中發(fā)生冷凝，加熱系統(tǒng)由K分度號熱電偶+智能數(shù)顯控溫儀+電熱合金絲發(fā)熱體實現(xiàn)氣路管道的溫度控制，控溫精度：±1℃。

4、真空系統(tǒng)主要用于控制反應室內(nèi)壓強，保證化學氣相沉積反應能在預定的壓強下進行實驗，真空度：10Pa。

CVD化學氣相沉積

化學氣相沉積反應裝置

CVD管式爐