主要技術(shù)指標(biāo)常規(guī)的處理量：0.1-50g升華區(qū)溫度：50-800℃沉積區(qū)溫度：50-500℃爐管尺寸： Φ50x1200 mm高純石英管加熱區(qū)分布：100+200+100+100+100mm控溫點(diǎn)數(shù)量：5點(diǎn)獨(dú)立控溫(5points temp. control independently)控溫方式：數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表，采用模糊型PID控制開門式爐體結(jié)構(gòu)上下翻蓋液壓手動開啟極限真空（潔凈系統(tǒng)）)5X10-5Pa分子泵抽氣速率：100L/S額定功率：5KW額定電壓：AC 220V Single Phase，50/60 Hz過濾方式：系統(tǒng)采用三級過濾保護(hù)裝置，分別采用多級微孔金屬濾網(wǎng)、液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾