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五溫區(qū)開啟式管式爐

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  • 型號 BTF-1200C-V-1ZH-CVD
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市

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更新時間:2017-02-23 11:30:01瀏覽次數(shù):1199

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產(chǎn)品簡介

此套設(shè)備是BTF-1200C的開啟式真空管式爐和前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助硫粉蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)硫化爐,溫度控制精確,操作簡便。左端配有法蘭支撐架可將預(yù)熱器和硫化爐分開使用。右端可配氣氛微調(diào)裝置,可以準確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對于做低壓CVD非常實用,重復(fù)性好。

詳細介紹

 

 

硫粉預(yù)熱器

型號:BTF-400C

工作溫度:400℃

zui高溫度:1100℃

zui快升溫速率:30℃/min

*升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220 V

額定功率:800W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

尺寸:260*320*500mm

硫化爐

額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

zui高溫度(℃):1200(1 hour)

持續(xù)工作溫度(℃):1100

升溫速率(℃/min):≤50

爐管尺寸(mm):

高純石英管Φ50×1200mm

加熱區(qū)長度(mm):440mm

恒溫區(qū)長度(mm):200mm

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲

爐子尺寸:590*380*500mm

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