BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。

 

       BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調節(jié)儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關鍵電氣元件采用優(yōu)質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。

 

 

 

zui高溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ100*1600mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序，可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動（時間和距離）設定為程序控制。
加熱長度	440mm
恒溫長度	200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz