杭州Michell半導(dǎo)體晶圓高純氣體露點(diǎn)變送器

樸若Pura 出色之處在它的簡(jiǎn)單。這種*設(shè)計(jì)的自給式變送器，能無停頓地在高純氣體工業(yè)過程中地工作，連續(xù)可靠地測(cè)量用戶需要的參數(shù)。樸若Pura的外殼由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部采用 0.25um 鐳電拋光，能zui大程度地避免水分吸附并符合氧氣標(biāo)準(zhǔn)。頂端套有 1/4"外螺紋 VCR 氣體連接口，起到清潔作用。出廠前的樸若Pura的清潔處理和雙層包裝，均是在100 級(jí)潔凈室純惰性氣體密封環(huán)境下操作的。另外，發(fā)貨前儀表經(jīng)過精密校準(zhǔn)，隨時(shí)能投入使用。校準(zhǔn)過的 4~20mA 輸出可連接到過程顯示儀或*控制系統(tǒng)，或通過485通訊接口輸出直接和合適的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)連接。產(chǎn)品的設(shè)計(jì)思路是把體積精簡(jiǎn)至zui小，確保了在開工準(zhǔn)備階段和可能發(fā)生的潮濕環(huán)境下，裝置能夠達(dá)到zui快的反應(yīng)速度。變送器密封等級(jí)為10-9torr， 而整個(gè)系統(tǒng)能承受VCR連接器等級(jí)zui大值為 24MPa。

傳感器

類　　型：密析爾*的陶瓷濕度變送器 
測(cè)量范圍：-120~-40°C 露點(diǎn) （標(biāo)定-100~-40°C） 
精　　度：-60~-40 范圍為±1°C
　　　　　-100~-60 范圍為±2°C 
　　　　　-120~100 范圍為±4°C（估） 
分 辨 率：-80~-40范圍為0.1°C
　　　　　-100~-80 范圍為1°C 
　　　　　-120~-100 范圍為 1~3°C 
額定壓力：zui低為10-9torr；zui高為 24MPa 
氣體流量：1~5 NL/min

電子電路

電　　源：額定24VDC，10V min，28V max，25 mA max 
輸　　出：4~20mA可調(diào)，使用提供的界面軟件調(diào)節(jié)范圍
　　　　　1~80°C 
　　　　　zui大負(fù)載=1kΩ （28VDC 時(shí)）
　　　　　zui小負(fù)載=200Ω（10VDC 時(shí)）
出錯(cuò)狀態(tài)顯示：
　　　　 　23mA＝變送器故障　20mA＝超過測(cè)量范圍；
　 　　　　4mA＝小于測(cè)量范圍
　 　　　　這些設(shè)置能通過提供的軟件界面進(jìn)行調(diào)整 

機(jī)械結(jié)構(gòu)

探　　頭：冷拉不銹鋼，內(nèi)部0.1-0.2μmRa鐳電鍍拋光 
氣體連接口：優(yōu)阻Premium和OEM 型－1/4"外螺紋VCR
　 　　　 　連接 
　 　　　 　樸若 Pura變送器－1/2"外螺紋VCR連接
安　　裝：優(yōu)阻Premium和OEM： 
　　　　　安裝方式為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)120mm間距，另有2個(gè)M4
　 　　　 螺孔，0.7 螺距，孔深7mm，孔間距20mm
　　　　　樸若 Pura變送器： 
　　　　　裝入用戶的 1/2"VCR連接口 
外形尺寸：優(yōu)阻Premium和 OEM：120x35x150mm 
　　　　　樸若Pura變送器：132x35mm 
重　　量：優(yōu)阻Premium和 OEM：450g 
　　　　　樸若Pura變送器：180g 
包　　裝：樸若Pura雙層包裝，UHP 惰性氣體密封
　 　　　 樸若Pura OEM 和樸若Pura 變送器：?jiǎn)螌影b
全部選項(xiàng)：運(yùn)輸時(shí)各個(gè)產(chǎn)品選件均有泡沫塑料襯墊保護(hù)，外
　 　　　 包裝為紙板箱，變送器探頭表面裝有護(hù)套，防止
　 　　　 運(yùn)輸和裝卸過程損壞