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技術(shù)文章

超純水設(shè)備拋光樹脂簡介

發(fā)布時(shí)間:2025-7-12

超純水設(shè)備拋光樹脂簡介:拋光樹脂是一種超純水制取工藝后端的工藝濾料,主要用于保證出水水質(zhì)達(dá)到18兆歐,一般都是作用于水處理設(shè)備的后端,目的是為了再次吸附水中的離子,降低電導(dǎo)率。拋光樹脂是由高度純化、轉(zhuǎn)型的H型陽樹脂和OH型陰樹脂混合而成,如果裝填和操作得當(dāng),在初始的周期中即可制備出電阻率大于18.0MΩ·cm和TOC小于10ppb的超純水,無需化學(xué)再生。

拋光樹脂主要應(yīng)用于UPW超純水的制備,涉及到液晶、芯片、晶圓等半導(dǎo)體行業(yè)。該類樹脂由于極低的TOC,和的出水電阻率要求,以往對于該類樹脂都是一次性使用,不進(jìn)行再生。但是近些年隨著國產(chǎn)樹脂的品質(zhì)不斷提升,對UPW樹脂實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化的替代,包括末端的拋光樹脂均已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代,隨著制水工藝的深入,發(fā)現(xiàn)UPW樹脂具備再生的條件,樹脂陽陰分離,純化、轉(zhuǎn)型、再生、漂洗等工藝后,即可實(shí)現(xiàn)樹脂性能的復(fù)蘇。

依各種原水水質(zhì)和用戶要求的不同,超純水的制備工藝大體可分為預(yù)處理、脫鹽和精處理三步。拋光樹脂作為精處理的一部分,是超純水制備過程中的一種材料。

拋光樹脂的工作原理主要基于離子交換。它由陽、陰離子交換樹脂組成,這些樹脂被放在同一個(gè)交換床中,并在運(yùn)行前混合均勻。在混床中,陽、陰樹脂是相互混合均勻的,所以陽、陰離子交換反應(yīng)幾乎是同時(shí)進(jìn)行的。當(dāng)水中的陽離子和陰離子與陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂中的H+和OH-進(jìn)行交換時(shí),可以生成離解度很低的水。這個(gè)過程基本上消除了反離子的影響,使得離子交換反應(yīng)可以進(jìn)行得非常,因此混床的出水質(zhì)量很高。


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