1、平面平晶 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格尺寸：                                                單位：mm 

特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形,方形可定做.
2、制成精度：1級(jí)
3、工作面的平面度偏差允許值為：
直徑為  30至100mm         1級(jí)平晶         0.03μm
直徑為  100至300mm        1級(jí)平晶         0.05μm
更大尺寸平面度偏差允許值，根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
4、工作面的局部偏差允許值為：      0.03μm
5、測(cè)量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時(shí)后進(jìn)行。
注：Ф200mm以上標(biāo)準(zhǔn)、環(huán)形需定做