測(cè)量數(shù)據(jù)：

測(cè)量以下材料的彈性模量

硬質(zhì)和超硬模、金屬膜、薄型聚合物膜、低K溶膠膜

          大批量材料的彈性模量

          膜厚

          半導(dǎo)體材料的損傷程度

特點(diǎn)：無(wú)損傷檢測(cè)

      超硬超薄都能檢測(cè)

      檢測(cè)整個(gè)面，并非某個(gè)點(diǎn)

      可測(cè)膜范圍廣：從納米到毫米

      快速可靠

      樣品無(wú)需特殊處理

      無(wú)需校正   

作用：

       薄膜沉積、涂層噴涂及成品材料表面的過(guò)程控制

       薄膜和涂層機(jī)械參數(shù)的精確測(cè)量

       膜材料上微結(jié)構(gòu)的無(wú)損評(píng)估（如鍵合情況、多孔性和組成）

       測(cè)探垂直于表面的彈性和密度梯度