通道極限值

0.1    0.2  0.3  0.5    1.0  5.0µm

流量：

1.0CFM(28.3LPM),電子監(jiān)測(cè)和調(diào)整

校準(zhǔn)

可追蹤校準(zhǔn)材料，符合NIST（美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所）標(biāo)準(zhǔn)

測(cè)試方法

微分遷移率分析法驗(yàn)證0.1µm粒子，透射鏡驗(yàn)證較大粒子

濃度

0.5%符合誤差：>500,000/ft³.（ISO Class 8+要求選購(gòu)稀釋器）

零點(diǎn)計(jì)數(shù)水平

超過(guò)JIS標(biāo)準(zhǔn)，適用于ISO Class 1和2潔凈室）

激光源：

激光二極管，3W（正常使用為2W），810nm,紅外

激光冷卻

熱電冷卻（珀耳貼致冷器），散熱片，專(zhuān)用5CFM冷卻扇。

保修

3年激光模塊保修，2年其他組件保修

通訊模式

以太網(wǎng)或RS-232；可選購(gòu)4-20mA輸出板，USB輸出

環(huán)境傳感器

可選購(gòu)溫度/相對(duì)濕度探頭；通過(guò)4-204-20mA輸入整合多達(dá)4臺(tái)外部傳感器

顯示

1/4VGA彩色液晶顯示屏

顯示語(yǔ)言

英語(yǔ)，法語(yǔ)，德語(yǔ)，意大利語(yǔ)，日語(yǔ)，韓語(yǔ)，西班牙語(yǔ)，中文（繁體或簡(jiǎn)體）

打印機(jī)

內(nèi)置熱敏打印機(jī)

報(bào)告

樣本打印帶；ISO/FS209/英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈規(guī)則達(dá)標(biāo)最終報(bào)告；多次運(yùn)行平均值；警報(bào)打??；采樣配置打印

遠(yuǎn)程控制

通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器操作設(shè)備；保存或運(yùn)行采樣方案

軟件關(guān)鍵性能

采樣方案，預(yù)定采樣，歷史數(shù)據(jù)篩選，分檢和審核，密碼保護(hù)

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

3000套數(shù)據(jù)（包括粒子和環(huán)境數(shù)據(jù)，以及地點(diǎn)、時(shí)間等數(shù)據(jù)）

數(shù)據(jù)和采樣安全

存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)記錄不可更改； 采樣方案可由密碼保護(hù)

外表面

KYDEX底盤(pán)、聚酯顯示屏；鍍鋅鋼底座均符合ESA/ESD標(biāo)準(zhǔn)

清洗材料

漂白劑，甲醛，乙/異丙醇，過(guò)氣化氫/季銨鹽溶劑

監(jiān)測(cè)清潔度

內(nèi)部過(guò)濾專(zhuān)用泵排氣（99.99% @0.1µm）和機(jī)柜排氣（95.0% 0.3µm）

尺寸（L×W×H），

18×14×13in(45×35×32cm)

重量

37 lb (17Kg)

電源

85-264V,50-60Hz；可選購(gòu)?fù)饨与姵?/span>/充電器

工作環(huán)境

溫度：15-30℃；濕度：10-85% 非冷凝