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日本 FUJI SEIKI 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)真空蝶閥

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參   考   價(jià): ￥ 1999

訂  貨  量: ≥1 把

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)MBV-ISO80SDII-M4-ARJ

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2026-09-12 14:40:50瀏覽次數(shù)：8次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

日本 FUJI SEIKI 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)真空蝶閥富士精工 MBV?SDⅡ?M4?ARJ 電機(jī)驅(qū)動(dòng)蝶閥，搭載三菱伺服電機(jī)，支持多段位置記憶，實(shí)現(xiàn)閥門開度多級(jí)調(diào)節(jié)。使用壽命可達(dá) 100 萬次循環(huán)，泄漏量小，適配 20A?100A 口徑，適用于真空腔體恒壓維持、排氣電導(dǎo)率可變調(diào)節(jié)，可搭配 PLC、上位機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化壓力控制。

詳細(xì)介紹

日本 FUJI SEIKI 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)真空蝶閥 日本 FUJI SEIKI 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)真空蝶閥

1、產(chǎn)品性能

本系列為面向電導(dǎo)率控制開發(fā)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)蝶閥，閥體不帶 O 型圈；驅(qū)動(dòng)采用通用性強(qiáng)的三菱 AC 伺服電機(jī)，可在全開、全關(guān)及任意中間位置保持定位。最多記憶 13 組位置參數(shù)，上位 PLC 信號(hào)實(shí)現(xiàn)高重復(fù)精度定位；循環(huán)壽命可達(dá) 100 萬次，支持選配自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)，完成閉環(huán)壓力調(diào)節(jié)，泄漏指標(biāo)優(yōu)異，適配高真空工況。

2、型號(hào)說明

  • MBV?CF40SDⅡ?M4?ARJ

  • MBV?CF63SDⅡ?M4?ARJ

  • MBV?CF100SDⅡ?M4?ARJ

商品代碼分別對(duì)應(yīng)：10840□□、10842□□、10844□□；最小規(guī)格從 20A (NW25) 起步，可提供帶閥體 O 型圈全封閉密封版本。

3、主要參數(shù)表

表格
項(xiàng)目規(guī)格
法蘭形式JIS、ISO、CF、NW
口徑20A?100A
工作壓力域\(10^{5}\sim10^{-6}\ \mathrm{Pa}\)
泄漏量\(1\times10^{-9}\mathrm{Pa\cdot m^{3}/s}\)以下
電源規(guī)格主電源 AC200V，控制 DC24V
控制方式AC 伺服方式
接氣材質(zhì)SUS304
軸封拜頓 O 型圈兩段密封
壽命100 萬次循環(huán)

4、用途

  1. 真空腔體內(nèi)恒壓維持；

  2. 閥門前后壓差可變調(diào)節(jié)；

  3. 排氣電導(dǎo)率可變控制；

  4. 半導(dǎo)體、鍍膜設(shè)備、科研真空裝置自動(dòng)化節(jié)流調(diào)壓；

  5. 搭配 FPC 控制器，實(shí)現(xiàn)完整自動(dòng)壓力閉環(huán)控制。

5、使用說明

  1. 安裝：按產(chǎn)品尺寸圖，選用對(duì)應(yīng)規(guī)格 CF/NW 法蘭完成管路對(duì)接，伺服放大器獨(dú)立固定，預(yù)留散熱空間；

  2. 接線：主電源 AC200V、DC24V 控制電源接入伺服放大器，連接 PLC 上位控制信號(hào)；

  3. 參數(shù)設(shè)定：通過伺服放大器本體或配套軟件預(yù)設(shè)最多 13 組閥門開度位置；

  4. 運(yùn)行：PLC 下發(fā)指令，閥門切換至預(yù)設(shè)開度，實(shí)現(xiàn)節(jié)流調(diào)壓；選配控制器可開啟自動(dòng)壓力閉環(huán)；

  5. 維護(hù)：定期檢查軸封 O 型圈，真空系統(tǒng)維護(hù)時(shí)斷電停機(jī)，禁止帶壓拆卸閥體。

關(guān)鍵詞：控制器

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