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日本 東京計裝 TOKYO 超聲波液體流量控制器

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參   考   價: ￥ 1999

訂  貨  量: ≥1 把

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號CLFC300-T11-201-D1-NHO

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：劉女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-09-10 16:37:41瀏覽次數(shù)：40次

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進口 產(chǎn)品新舊 全新

日本 東京計裝 TOKYO 超聲波液體流量控制器東京計裝 CLFC300 一體化超聲波液體流量控制器，集成超聲波流量檢測、控制閥與控制電路。精度 ±0.2% FS，支持針閥 / 夾管閥兩種閥型，接液采用 PFA、PTFE 耐腐蝕材質(zhì)。響應(yīng)速度快，抗氣泡性能優(yōu)異，適用于半導(dǎo)體 DIW、藥液、CMP 漿料的高精度定量供給與濃度管控。

詳細介紹

日本 東京計裝 TOKYO 超聲波液體流量控制器 日本 東京計裝 TOKYO 超聲波液體流量控制器

產(chǎn)品性能

CLFC300 是一體化超聲波液體流量控制器，將超聲波流量檢測器、控制閥、流量運算與閥門驅(qū)動電路集成在小型外殼，體積相比舊款縮小 20%，重量減輕 35%，功耗降低 35%。優(yōu)化運算算法，抗氣泡能力大幅提升，流量測量穩(wěn)定；階躍響應(yīng)控制速度≤1.5 秒；提供針閥、夾管閥兩種閥類型可選；接液材質(zhì) PFA/PTFE，高耐化學腐蝕；外殼 PVDF；滿足 RoHS 與 EMC EN 61326-1:2006 標準；支持 0-10V、4-20mA 模擬信號輸入輸出，帶流量異常接點報警輸出。

型號編碼規(guī)則

CLFC300-T12-501-D2-NH0

  • CLFC300：系列型號

  • T12：安裝 / 接口規(guī)格

  • 501：流量量程

  • D2：信號規(guī)格

  • NH0：閥門類型與配件

針閥款用于純水 / 藥液；夾管閥用于 CMP 漿料等易沉積流體。

參數(shù)表

用途

  1. 半導(dǎo)體 DIW 去離子水、工藝藥液定量供給，管路流量穩(wěn)定控制；

  2. 藥液稀釋配比，高精度濃度管理；

  3. CMP 工藝漿料流體穩(wěn)定定量輸送，減少漿料浪費；

  4. 精細化工、制藥高純液體連續(xù)流量閉環(huán)控制。

使用說明

  1. 選型確認：純水藥液選針閥；漿料、易沉淀流體選用夾管閥；確認流量范圍、介質(zhì)壓力溫度。

  2. 管路安裝：采用 Φ1/4 Pillar S300 或 Flare 接頭，管路無泄漏，盡量減少液體氣泡。

  3. 電氣接線：連接多芯電纜，接入模擬量信號（4-20mA 或 0-10V），設(shè)置流量設(shè)定值。

  4. 上電調(diào)試：執(zhí)行零點校準，設(shè)定目標流量，設(shè)備自動閉環(huán)調(diào)節(jié)閥門，穩(wěn)定維持流量。

  5. 監(jiān)控：流量異常時設(shè)備接點輸出報警；定期檢查管路氣泡、接頭腐蝕情況。

  6. 注意：液體含大量氣泡會影響測量精度；流體參數(shù)需在 10~50℃、0.4MPa 以內(nèi)使用。



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