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日本 TANAKA 半導(dǎo)體氣體微壓壓力調(diào)整器

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參   考   價(jià): ￥ 1999

訂  貨  量: ≥1 把

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)TORR-LAR

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2026-09-08 15:52:41瀏覽次數(shù)：33次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

日本 TANAKA 半導(dǎo)體氣體微壓壓力調(diào)整器日酸 TANAKA TORR?L 系列為半導(dǎo)體專用氣體壓力調(diào)整器，可實(shí)現(xiàn)二次側(cè)微壓精準(zhǔn)控制。整機(jī)在千級(jí)潔凈室完成裝配，全部經(jīng)過氦檢漏出廠檢測(cè)，接氣部采用 SUS316 不銹鋼材質(zhì)，支持電解研磨定制。適配氮?dú)獾榷喾N工藝氣體，滿足半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室高純供氣穩(wěn)壓需求，接口規(guī)格可定制。

詳細(xì)介紹

日本 TANAKA 半導(dǎo)體氣體微壓壓力調(diào)整器 日本 TANAKA 半導(dǎo)體氣體微壓壓力調(diào)整器

1、產(chǎn)品性能

TORR?L 是半導(dǎo)體行業(yè)口碑成熟的微壓壓力調(diào)整器，全部在 0.3μm 千級(jí)潔凈室內(nèi)組裝；每臺(tái)執(zhí)行氦泄露檢測(cè)出廠檢驗(yàn)，外部泄漏量≤1.3×10??Pa?m3/sec。支持電解研磨定制，接氣金屬部件表面粗糙度 Ra0.25μm；主打二次側(cè)微壓穩(wěn)定控制，在不同入口壓力工況下，保障輸出壓力穩(wěn)定，適配低壓力大流量氣體工況；本體材質(zhì) SUS316，耐腐蝕性強(qiáng)，適合高純工藝氣體。

流量特性：以氮?dú)?N?介質(zhì)測(cè)試，不同入口壓力 P1 條件下，輸出壓力 P2 隨流量變化曲線平緩，標(biāo)準(zhǔn)流量 40L/min (nor)。

2、參數(shù)表

表格

項(xiàng)目規(guī)格參數(shù)
接氣部材質(zhì)本體 SUS316，隔膜 SUS316L，壓力表 SUS316L
入口壓力1.5MPa
出口使用壓力0.06MPa
流量40L/min(nor)（N?，P1=0.1MPa，P2=0.06MPa）
使用溫度-5~40℃
整機(jī)重量5.2kg
出入口口徑3/8"
外部泄漏量1.3×10??Pa?m3/sec 以下
過濾器本機(jī)無內(nèi)置過濾器，需外部增設(shè)

3、型號(hào)說明

表格

品名一次側(cè)壓力表二次側(cè)壓力表入口接頭出口接頭
TORR?LA無0.1MPa 連成計(jì)NPT3/8 內(nèi)螺紋NPT3/8 內(nèi)螺紋
TORR?LB無0.1MPa 連成計(jì)1/2"Swagelok 卡套接頭1/2"Swagelok 卡套接頭
TORR?LWV無0.1MPa 連成計(jì)1/2"VCR 內(nèi)螺紋1/2"VCR 內(nèi)螺紋

該系列支持非標(biāo)定制，定制需提供：使用氣體、用途、入口 / 出口壓力、流量、接頭規(guī)格、其他特殊要求。

4、產(chǎn)品用途

  1. 半導(dǎo)體制造工藝管路高純氣體微壓穩(wěn)壓調(diào)節(jié)；

  2. 科研實(shí)驗(yàn)室高純氮?dú)狻⒍栊詺怏w供氣系統(tǒng)；

  3. 精密分析儀器供氣回路，需要穩(wěn)定微壓輸出的工況；

  4. 各類特種工藝氣體減壓穩(wěn)壓場(chǎng)景。

5、使用說明

  1. 安裝：匹配對(duì)應(yīng)型號(hào)接頭，管路做好前期吹掃，前端管路配置過濾器（本機(jī)無內(nèi)置濾芯）；

  2. 調(diào)壓：旋轉(zhuǎn) TORR 手輪，H 代表升壓，L 代表降壓，觀察二次側(cè)壓力表確認(rèn)輸出壓力；

  3. 介質(zhì)：適配氮?dú)狻⒏黝惗栊怨に嚉怏w，確認(rèn)介質(zhì)與 SUS316 材質(zhì)兼容性；

  4. 工況：使用溫度控制?5~40℃，嚴(yán)禁超過入口 1.5MPa 耐壓；

  5. 維護(hù)：禁止拆解閥體內(nèi)部；設(shè)備出廠完成氦檢漏，拆開后密封性能會(huì)失效；

  6. 選型定制：非標(biāo)工況，請(qǐng)?zhí)峤粴怏w種類、進(jìn)出口壓力、流量、接頭規(guī)格進(jìn)行方案評(píng)估。

關(guān)鍵詞：壓力表 過濾器

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