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日本 Anelva 寬量程B?A 真空計測定球

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參   考   價: ￥ 1999

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號MG?2WF 微型

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：劉女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-09-01 13:37:52瀏覽次數(shù)：40次

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進口 產(chǎn)品新舊 全新
自動化程度 其他    

日本 Anelva 寬量程B?A 真空計測定球Canon Anelva MG?2 系列微型 B?A 真空計測定球，采用 SUS304 不銹鋼材質(zhì)，體積小巧，規(guī)避玻璃規(guī)易碎缺陷。單臺可覆蓋從超高真空到 1Pa 工藝壓力測量，搭載多類法蘭接口，適配 NW、ICF、O 型圈適配器多種安裝形式，廣泛用于濺射、真空設(shè)備腔體壓力檢測。

詳細介紹

日本 Anelva 寬量程B?A 真空計測定球 日本 Anelva 寬量程B?A 真空計測定球

4.1 產(chǎn)品性能

MG?2 系列為金屬制小型 B?A 真空計測定球，體積僅為傳統(tǒng)產(chǎn)品約 1/20，解決傳統(tǒng)玻璃制規(guī)球易碎、體積大的痛點。靈敏度 0.045Pa?1，單支探頭可實現(xiàn)從超高真空到達壓力直至 1Pa 量級工藝壓力的連續(xù)測量。內(nèi)置 2 根燈絲，分銥釔涂層燈絲與鎢絲兩種材質(zhì)；燈絲功耗 2.3?2.5W，柵極除氣功耗 1.0W，采用柵極通電除氣方式；測定球容積約 12cc，整機 SUS304 不銹鋼本體，真空適配性優(yōu)異，安裝位置選擇靈活。

4.2 型號區(qū)分

表格

型號部件編號安裝形式壓力量程燈絲材質(zhì)

MG?28B1?0010?405φ15 O 型圈適配器13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2M8B1?0010?410φ18 O 型圈適配器13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/NW168G1?0505?480NW16 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/NW258B1?0018?082NW25 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/ICF348G1?0505?482φ34ICF 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2I/ICF708B1?0018?045φ70ICF 法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2F8B1?0010?408φ70ICF 直連法蘭13Pa ~10??Pa釔涂層銥絲

MG?2WF8G1?0501?693φ15 適配器可焊接0.13Pa~10??Pa鎢絲

4.3 主要參數(shù)表

表格

項目規(guī)格

本體材質(zhì)SUS304 不銹鋼

靈敏度0.045 Pa?1

測定球容積約 12cc

燈絲功耗2.3W(MG?2/2M/2I/2F)；2.5W(MG?2WF)

柵極除氣功耗1.0W

除氣方式柵極通電除氣

安裝接口φ15、φ18 適配器；NW16/NW25；φ34ICF、φ70ICF

4.4 用途

主要應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備、濺射鍍膜設(shè)備、真空熱處理、科研實驗腔體、各類高真空工藝設(shè)備；用于監(jiān)測腔體到達真空、工藝工作壓力，實現(xiàn) 1Pa 量級工藝壓力至超高真空區(qū)間壓力檢測。金屬結(jié)構(gòu)不易破碎，適配設(shè)備內(nèi)部狹小安裝空間。

4.5 使用說明

根據(jù)設(shè)備真空法蘭接口匹配對應(yīng)型號：O 型圈適配器選 MG?2/MG?2M；KF/NW 接口選 MG?2I/NW 系列；ICF 高真空法蘭選用 MG?2I/ICF、MG?2F；焊接需求選用 MG?2WF。

安裝：法蘭緊固到位，保證真空密封；O 型圈型號與適配器尺寸匹配，焊接款完成焊接后做檢漏。

通電使用：連接對應(yīng)真空計控制器，確認燈絲供電參數(shù)；污染后使用柵極通電模式執(zhí)行除氣操作。

選型提示：MG?2WF 為鎢燈絲型號，量程上限 0.13Pa，需要注意與其他銥絲型號區(qū)分。

禁止磕碰本體，金屬測定球雖無玻璃破碎風(fēng)險，但內(nèi)部燈絲結(jié)構(gòu)精密，沖擊會造成燈絲損壞。

4.6 使用行業(yè)

半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、材料科研實驗室、光學(xué)設(shè)備、真空熱處理、工業(yè)真空工藝設(shè)備。

關(guān)鍵詞：控制器

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