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TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀

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參   考   價(jià): ￥ 10

訂  貨  量: ≥10 把

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)1

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：吳丹查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-09-28 16:54:19瀏覽次數(shù)：24次

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

日本TECHNO MU TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀 ，專為高精密薄型工件及大尺寸光學(xué)零部件設(shè)計(jì)的微米級(jí)測量系統(tǒng)。采用高精度激光三角測量法與花崗巖基座掃描平臺(tái)，無需接觸工件即可快速完成大面積三維面數(shù)據(jù)采集。設(shè)備配備專業(yè)3D形貌評(píng)估軟件，可精準(zhǔn)量化晶圓、玻璃基板、PCB線路板及精密金屬部件的平面度、翹曲度及扭曲度

詳細(xì)介紹

日本TECHNO MU TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀 【產(chǎn)品概述】

TFL3200非接觸平面度測定裝置由日本TECHNO MU株式會(huì)社研發(fā)。該設(shè)備突破了傳統(tǒng)千分表、三坐標(biāo)等接觸式測量的局限，采用全封閉、高穩(wěn)定性的精密光學(xué)測量架構(gòu)。通過高精度XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)激光測頭對(duì)工件進(jìn)行全覆蓋柵格化掃描，實(shí)時(shí)構(gòu)建微米級(jí)的3D表面點(diǎn)云模型。系統(tǒng)軟件可自動(dòng)擬合基準(zhǔn)面，快速輸出平面度、翹曲度及最小高度差（TTV）等關(guān)鍵品質(zhì)數(shù)據(jù)，為高精度制造工藝提供堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)支撐。

日本TECHNO MU TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀 【核心性能與優(yōu)勢】

  1. 純非接觸無損測量：采用的激光位移傳感技術(shù)，測量過程不接觸工件表面。杜絕了探針劃傷、光學(xué)元件壓痕以及接觸應(yīng)力導(dǎo)致的精密薄片材料彈性形變，確保測量數(shù)據(jù)的真實(shí)性。

  2. 花崗巖基座與高動(dòng)態(tài)掃描：設(shè)備整體采用00級(jí)高精度花崗巖底座，具備抗熱脹冷縮與抗振動(dòng)性能。配合高響應(yīng)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高直線度XY軸平臺(tái)，確保了在大范圍掃描時(shí)的重復(fù)精度與定位準(zhǔn)確度。

  3. 可視化3D形貌與色彩渲染：配套的測量軟件能夠?qū)⒑Ａ康狞c(diǎn)云數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)化為直觀的色彩漸變3D形貌圖。通過冷暖色的梯度變化，研發(fā)人員與質(zhì)檢工程師可以瞬間定位工件表面的微觀翹曲、局部凹陷或凸起。

  4. 高精度TTV與翹曲度評(píng)估：支持對(duì)工件進(jìn)行多段面掃描，軟件內(nèi)置多種物理擬合算法（如最小二乘法），可精準(zhǔn)評(píng)估半導(dǎo)體晶圓的總厚度變化（TTV）、面板玻璃的翹曲度（Warp）及多層PCB板的扭曲度（Twist）。

【技術(shù)參數(shù)表】

表格
下載為表格
導(dǎo)出為圖片
參數(shù)項(xiàng)目技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品型號(hào)TFL3200
測量原理激光三角測量法 / 激光位移傳感
測量方式全自動(dòng)XY軸聯(lián)動(dòng)高精度光學(xué)掃描
測量精度微米級(jí) (μm)
掃描基座00級(jí)高精度花崗巖精密平臺(tái)
測量參數(shù)平面度 (Flatness)、翹曲度 (Warp/Twist)、TTV (總厚度變化)
數(shù)據(jù)處理專業(yè)3D點(diǎn)云渲染、基準(zhǔn)面擬合、色彩漸變形貌圖
適用工件硅晶圓、玻璃基板、藍(lán)寶石片、PCB/FPC、精密金屬件
工作電源AC 100V - 240V，50/60Hz

【典型應(yīng)用領(lǐng)域】

  • 半導(dǎo)體與光電顯示：針對(duì)硅晶圓（Wafer）、藍(lán)寶石襯底、TFT-LCD/OLED面板、手機(jī)蓋板玻璃（Cover Glass）的表面翹曲與厚度變化（TTV）進(jìn)行非接觸全檢。

  • 精密PCB與集成電路：對(duì)多層高密度線路板、柔性電路板（FPC）在高溫制程后的整體翹曲度（Warp）及局部扭曲度（Twist）進(jìn)行精準(zhǔn)測量，保障SMT貼片精度。

  • 新能源與汽車電子：測量鋰電池極片、氫燃料電池雙極板（Bipolar Plate）的表面平整度，以及汽車發(fā)動(dòng)機(jī)缸蓋、精密液壓閥密封面的微觀平面度。

  • 高精密光學(xué)組件：對(duì)光學(xué)棱鏡、激光反射鏡、光柵尺玻璃基底的表面平整度進(jìn)行無損評(píng)估。



關(guān)鍵詞：液壓閥

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