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M-311HG 熱陰極電離高精度真空計(jì)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號2

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：吳丹查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-09-07 13:47:00瀏覽次數(shù)：35次

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

佳能安內(nèi)瓦（Canon Anelva）M-311HG 熱陰極電離高精度真空計(jì)，專為半導(dǎo)體制造、真空鍍膜（PVD）及高精密科研領(lǐng)域設(shè)計(jì)。該設(shè)備采用微型儀表設(shè)計(jì)，具備寬量程、高精度、高響應(yīng)速度及聯(lián)鎖保護(hù)功能。標(biāo)配RS-232C標(biāo)準(zhǔn)通信接口，支持模擬量實(shí)時(shí)輸出，可無縫接入自動化控制系統(tǒng)，為苛刻的真空工藝環(huán)境提供精準(zhǔn)可靠的實(shí)時(shí)壓力監(jiān)測與控制解決方案。

詳細(xì)介紹

佳能安內(nèi)瓦（Canon Anelva）M-311HG 熱陰極電離高精度真空計(jì) 一、 產(chǎn)品概述

佳能安內(nèi)瓦 M-311HG 是一款集高精度測量與過程控制于一體的專業(yè)級高真空測量儀器。它采用熱陰極電離測量原理，能夠精準(zhǔn)測量從超高真空至高真空的寬廣壓力范圍。憑借其優(yōu)異的響應(yīng)速度和穩(wěn)定的信號輸出，M-311HG已成為半導(dǎo)體制造、精密鍍膜及科研設(shè)備中的高性能真空監(jiān)測組件。

佳能安內(nèi)瓦（Canon Anelva）M-311HG 熱陰極電離高精度真空計(jì) 二、 測量原理（熱陰極電離法）

  1. 電子發(fā)射與加速：設(shè)備內(nèi)部的高穩(wěn)定性熱陰極在加熱后釋放出熱電子，電子在柵極電場的加速作用下獲得高動能。

  2. 氣體分子電離：高速運(yùn)動的電子與真空腔體內(nèi)的殘留氣體分子發(fā)生碰撞，將其電離為正離子。

  3. 離子收集與換算：離子收集極捕獲這些正離子并形成微弱的離子流。在恒定的燈絲發(fā)射電流下，該離子流的強(qiáng)度與真空腔內(nèi)的氣體壓力呈嚴(yán)格正比。設(shè)備通過高靈敏度微電流放大電路，將采集到的離子流實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)換為直觀的真空度數(shù)值顯示。

三、 核心技術(shù)特點(diǎn)與性能優(yōu)勢

  1. 寬量程高靈敏度：具備 1×10?7 Pa 至 10 Pa 的寬廣測量區(qū)間，在極低真空側(cè)同樣保持了優(yōu)異的高靈敏度與線性度，適應(yīng)多種復(fù)雜的工藝需求。

  2. 極速響應(yīng)與閉環(huán)控制：具備極快的動態(tài)響應(yīng)能力，模擬量輸出的信號延遲低于100毫秒。非常適合用于濺射、刻蝕等需要快速閉環(huán)控制的真空鍍膜與半導(dǎo)體工藝。

  3. 工業(yè)級安全防護(hù)：配備2路外部照射聯(lián)鎖（Interlock）保護(hù)端口及脈沖照射觸發(fā)輸入?？砂踩尤朐O(shè)備主控制系統(tǒng)，在異常狀態(tài)下自動切斷，有效保護(hù)設(shè)備與精密樣品的安全。

  4. 數(shù)字化遠(yuǎn)程交互：標(biāo)配 RS-232C 工業(yè)通信接口，支持多種波特率選擇，可輕松實(shí)現(xiàn)與上位機(jī)、PLC的通信，方便技術(shù)人員進(jìn)行遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)定、狀態(tài)監(jiān)控及數(shù)據(jù)記錄。

四、 主要技術(shù)參數(shù)

  • 測量原理：熱陰極電離法（High Precision）

  • 真空度測量范圍：1×10?7 Pa ~ 10 Pa

  • 工作電源：AC 90V ~ 240V（50/60Hz），寬電壓設(shè)計(jì)，運(yùn)行穩(wěn)定

  • 功率消耗：約 50VA

  • 通信接口：RS-232C（支持 1200 / 2400 / 4800 / 9600 bps 多種波特率）

  • 輸出信號：高精度模擬量輸出（響應(yīng)時(shí)間 < 100ms）

  • 聯(lián)鎖接口：2路外部接觸輸入（含脈沖觸發(fā)輸入）

  • 標(biāo)準(zhǔn)安裝支架：支持標(biāo)準(zhǔn)支架（約21kg）及長支架（約24kg）兩種安裝規(guī)格



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