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秋山科技(東莞)有限公司
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更新時間:2026-09-23 09:28:08瀏覽次數(shù):次
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**日本 TYSEI TY-55100 脫氣模塊**
該款脫氣模塊接觸液體全部采用氟樹脂材質(zhì),耐酸堿與有機(jī)溶劑腐蝕,屬于低壓損類型,適配≤250ml/min 流量,可對各類工藝藥液脫氣,多用于半導(dǎo)體、平板顯示制造行業(yè)。
日本 TYSEI TY-55100 脫氣模塊日本 TYSEI TY-55100 脫氣模塊
設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格
類型:低壓損型
流量范圍:≤250ml/min
膜內(nèi)容積:150ml
外形尺寸:Φ120×160mm
耐壓:0.3MPa
高使用溫度:50℃
通液端口:FAINALLOCK 1/4 英寸
真空端口:快速接頭 Φ6
接觸液材質(zhì):PFA
脫氣率 80% 對應(yīng)流量:100ml/min
核心產(chǎn)品特性TY-55100 脫氣模塊脫氣膜、端部、接合部等所有接觸液體部件均采用 PFA 氟樹脂材料,具備優(yōu)異耐化學(xué)腐蝕性能,可耐受各類強(qiáng)酸、強(qiáng)堿與有機(jī)溶劑,不會污染處理藥液,保障流體純度。設(shè)備為低壓損結(jié)構(gòu),流體輸送阻力更小,適配連續(xù)在線脫氣工況,運(yùn)行穩(wěn)定可靠。整機(jī)采用圓柱不銹鋼殼體,結(jié)構(gòu)緊湊,占用安裝空間小,便于集成到產(chǎn)線管路系統(tǒng)。模塊采用真空脫氣原理,可穩(wěn)定去除液體內(nèi)部溶解氣體,脫氣效率穩(wěn)定,能夠滿足工業(yè)生產(chǎn)對藥液脫氣的精度要求。模塊化設(shè)計方便拆裝維護(hù),接頭標(biāo)準(zhǔn)化,管路連接便捷。多型號系列可覆蓋不同流量需求,該型號適合中等流量工況,廣泛適配精密制造的藥液處理流程,可長時間連續(xù)運(yùn)行,降低氣泡對后續(xù)工藝造成的不良影響,減少產(chǎn)品缺陷。
適用場景適用于半導(dǎo)體、FPD 平板顯示器制造工藝,對清洗液、蝕刻液、光刻膠剝離液進(jìn)行脫氣處理;也可用于理化分析、化工領(lǐng)域的藥液、有機(jī)溶劑、酸堿溶液脫氣,同時覆蓋各類精密制造行業(yè)的清洗液、涂層液、工藝處理液的在線脫氣作業(yè)。
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