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秋山科技（東莞）有限公司


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日本 TANAKA TORR-L 半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器

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參   考   價(jià): ￥ 2233

訂  貨  量: ≥2222 把

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：譚女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-09-21 14:05:11瀏覽次數(shù)：次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品：133條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：譚女士 （銷(xiāo)售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品新舊 全新

**日本 TANAKA TORR-L 半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器**
日本 TANAKA TORR-L 系列為半導(dǎo)體專(zhuān)用氣體壓力調(diào)節(jié)器，可實(shí)現(xiàn)二次側(cè)微壓精準(zhǔn)控制。整機(jī)在千級(jí)潔凈室裝配，全部產(chǎn)品完成氦檢漏測(cè)試，閥體采用 SUS316 材質(zhì)，支持電解研磨處理，泄漏率低，適配高純工藝氣體，可根據(jù)工況定制接口規(guī)格。

詳細(xì)介紹

日本 TANAKA TORR-L 半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器日本 TANAKA TORR-L 半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

  • 接氣主體材質(zhì)：SUS316，膜片 SUS316L

  • 入口高使用壓力：1.5MPa

  • 出口高使用壓力：0.06MPa

  • 大流量：40L/min (nor)

  • 使用溫度范圍：-5~40℃

  • 整機(jī)重量：5.2kg

  • 出入口端口口徑：3/8 英寸

  • 外部泄漏量：1.3×10??Pa?m3/sec 以下

    核心產(chǎn)品特性

    TORR-L 系列是擁有長(zhǎng)期應(yīng)用實(shí)績(jī)的半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器，在行業(yè)內(nèi)認(rèn)可度高，產(chǎn)品全部在 0.3μm 等級(jí) 1000 級(jí)潔凈車(chē)間完成組裝，從源頭降低粉塵污染，滿足半導(dǎo)體工藝對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求。每臺(tái)設(shè)備出廠前均執(zhí)行包含氦氣檢漏在內(nèi)的全套出貨檢驗(yàn)，保障產(chǎn)品密封性，杜絕氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)。閥體接觸氣體金屬部件可做電解研磨加工，表面粗糙度可達(dá) Ra0.25μm，降低氣體吸附，適配各類(lèi)高純工藝氣體。該型號(hào)主打二次側(cè)微壓穩(wěn)定控制，調(diào)壓手感平順，壓力輸出波動(dòng)小，能夠在流量變化時(shí)維持下游壓力穩(wěn)定。支持定制化選型，可根據(jù)客戶使用氣體、進(jìn)出口壓力、流量需求以及接頭規(guī)格單獨(dú)設(shè)計(jì)制作，提供 NPT、VCR、Swagelok 等多種接口方案。調(diào)壓手柄操作便捷，搭配壓力表實(shí)時(shí)直觀讀取壓力數(shù)值，結(jié)構(gòu)耐用，長(zhǎng)期連續(xù)工況下依然保持穩(wěn)定調(diào)壓性能，適配精密半導(dǎo)體產(chǎn)線的連續(xù)運(yùn)行需求。

    適用場(chǎng)景

    適用于半導(dǎo)體晶圓制造、光伏、電子元器件生產(chǎn)等高純工藝供氣系統(tǒng)，用于工藝氮?dú)?、特種高純氣體管路的壓力調(diào)節(jié)與穩(wěn)壓控制，也可用于實(shí)驗(yàn)室精密氣體供給、分析儀器氣體回路微壓控制，滿足潔凈工藝環(huán)境下對(duì)氣體壓力高精度、高密封性的使用需求。


關(guān)鍵詞：壓力表

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