真空抽氣機(jī)組概況及原理

ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵，是ZJ型羅茨真空泵的派生產(chǎn)品，抽氣原理與ZJ型泵一樣，它也是利用一對(duì)８字形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙，作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。所不同的是ZJP型帶旁通閥羅茨真空泵的進(jìn)、排氣口相連通，在二者的通道上垂直地安裝著一個(gè)重力閥。其作用是當(dāng)進(jìn)氣口和排氣口的壓力差與閥的有效作用面積的乘積超過(guò)閥頭的自重時(shí)，閥頭就自動(dòng)頂開(kāi)。這個(gè)數(shù)值是泵可靠運(yùn)轉(zhuǎn)的高壓力差值，因此，這種閥實(shí)際上就是一種過(guò)載自動(dòng)保護(hù)閥，也是ZJP 型帶旁通閥羅茨真空泵的大優(yōu)點(diǎn)。

真空抽氣機(jī)組的特點(diǎn)

主要特點(diǎn)：

• 無(wú)油潔凈，滿足各種無(wú)油及腐蝕性特殊工況要求
• 過(guò)載自動(dòng)保護(hù)，適合高壓差工況，運(yùn)行安全、可靠
• 高精度、高轉(zhuǎn)速、高效率，降低使用成本，提高經(jīng)濟(jì)效益
• 無(wú)泄漏、低噪聲、低震動(dòng)，運(yùn)行、維護(hù)成本更低
• 不銹鋼機(jī)械密封，密封性能穩(wěn)定、使用壽命長(zhǎng)。

真空抽氣機(jī)組的特點(diǎn)

規(guī)格參數(shù)：

因而用戶可根據(jù)不同的使用要求來(lái)正確選擇機(jī)組的級(jí)數(shù)。用戶如有特殊要求也可與本公司直接，由本公司相關(guān)技術(shù)人員來(lái)選型。

真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門、管道等組成。根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60，Ф80直徑靶材，氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等)，真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其的測(cè)量規(guī)管，及其它測(cè)量?jī)x器，如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。