由于羅茨液環(huán)泵真空機組具有優(yōu)良的抽氣特性（在低壓下具有大的抽速），且在羅茨液環(huán)泵真空機組的極限真空范圍內使用羅茨真空機組作為后級泵，總能比前級真空泵提高一個數量級的真空度（如前級真空度為100Pa那未使用羅茨液環(huán)泵真空機組作后級泵，就可提高到10Pa,余類推）。由于羅茨液環(huán)泵真空機組的轉子與轉子，轉子與泵腔均無機械接觸，無需潤滑，故其功率損耗就明顯小于具有相同抽速的其他類機械真空泵。又由于機組配備雙極水環(huán)泵作為前級泵，所以對抽除具有一定腐蝕性，含水蒸氣量大的工業(yè)流程特別適宜。