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江蘇臻科真空技術有限公司
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更新時間:2026-06-22 16:25:42瀏覽次數:158次
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公司主營LG等螺距螺桿泵,羅茨真空泵,滑閥真空泵,水環(huán)式真空泵,立式無油真空泵,旋片式真空泵,油封螺桿真空泵,專注于醫(yī)化行業(yè),應對腐蝕性物料有豐富的經驗及案例。
本款螺桿真空泵專為化工、鍍膜、冶金、工業(yè)爐、半導體及鋰電池等對真空度和耐腐蝕性有較高要求的行業(yè)設計。采用干式無油螺桿結構,在抽氣過程中工作腔內無油,既避免了油蒸汽對工藝的污染,又能從容應對鹽酸等腐蝕性氣體、粉塵及可凝蒸汽,是替代傳統(tǒng)水環(huán)泵、液環(huán)泵和油封泵的升級方案之一。
核心性能亮點
· 高真空度
通過精密加工的變螺距轉子與嚴格控制的面間隙,泵的極限壓力可低至1Pa,抽速曲線平坦,能在寬壓力范圍內保持高效抽氣,充分滿足鍍膜、半導體等精細工藝對真空穩(wěn)定性的需求。
· 出色的耐鹽酸腐蝕能力
針對化工、冶金和鋰電池行業(yè)中常見的鹽酸、氯氣及有機溶劑腐蝕,泵腔過流部件可選配鈦合金,并配合特殊防腐密封設計。整套防腐方案可以有效抵抗酸性介質侵蝕,延長設備在腐蝕性氣氛下的使用壽命。
· 運行穩(wěn)定可靠
傳動系統(tǒng)選用高品質軸承與機械密封,配合直接聯(lián)軸器或一體化電機,整機振動小、噪音低。無水無油的干式工作方式,大幅降低了日常維護頻次;同時,設備標配合適的水冷/氣冷系統(tǒng),有效控制內部溫升,防止腐蝕性氣體凝結,長時間連續(xù)運行仍能保持抽氣性能的穩(wěn)定。
典型工藝應用
· 化工與冶金:真空蒸餾、溶劑回收、酸性氣體抽除,在鹽酸、硫酸霧環(huán)境下實現(xiàn)無廢水排放的清潔真空。
· 鍍膜與工業(yè)爐:用于PVD、CVD鍍膜前級真空及真空熱處理、釬焊工藝,可獲得清潔無油的高真空環(huán)境,提升膜層結合力與工件光亮效果。
· 半導體制造:刻蝕、薄膜沉積等工藝中,提供純凈的真空背景,避免碳氫化合物污染。
· 鋰電池制造:合漿、注液、干燥工序抽除NMP等有機溶劑,適配溶劑回收系統(tǒng),有助于降低生產成本并滿足環(huán)保要求。
周全的品質保障
每臺螺桿真空泵在出廠前均通過氣密性、極限壓力、振動及溫升等多項全檢測試,附帶真實運行曲線報告。我們提供專業(yè)選型支持、快速售后響應與足量備件供應,致力于為您的連續(xù)化生產提供可靠的真空保障。
螺桿真空泵詳細參數

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