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大腔體雙靶磁控濺射儀 SSG-200A

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:張艾查看聯(lián)系方式

更新時間:2026-09-10 07:42:26瀏覽次數(shù):19次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:20條

所在地區(qū):天津天津市

聯(lián)系人:張艾 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

在封閉腔室中,放置陽極靶材,充入氣體,保持一定的真空度,在陽極和陰極之間加載高壓,會發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會轟擊、侵蝕陽極靶材。靶材原子會因此向四周擴散,在磁力的束縛下在一定范圍內(nèi)沉積,最終在樣品表面形成一個均勻的鍍層。這個鍍層可以抑制荷電,減小熱損傷,提高二次電子產(chǎn)率,從而改善掃描電鏡觀察效果。平時使用時,見靶材的是金靶。正是這個原因,離子濺射儀也俗稱噴金儀。然而,為了獲得更細小的......

詳細介紹

產(chǎn)品概述

技術參數(shù)
配置
詳細參數(shù)說明
樣品腔尺寸
直徑300mm*高度130mm
低真空度
極限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa
高真空度
極限真空度:<10-3Pa,工作真空度:0.1-2Pa
靶材尺寸
規(guī)格:直徑50mmx0.1mm厚,數(shù)量:2個
樣品臺轉速
4-20rmp
抽速
66L/min
濺射電流
1-500mA,連續(xù)可調(diào)
濺射時間
1-999s,連續(xù)可調(diào)
保護氣
氬氣
選型指南

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