詳細介紹
一、立式接觸式干涉儀JDS-1參數
被測件長度: | 150 mm |
工作臺行程: | 5 mm |
測桿移動范圍: | 0.5mm |
分劃板刻度范圍: | ±50格 |
直接測量范圍: | 5-20μm |
分度值調整范圍: | 0.05-0.2 μm |
推薦使用分度值: | 0.1 μm |
測量壓力: | (1.5±0.1) N |
儀器示值穩(wěn)定性: | 0.02 μm |
儀器誤差: | ±(0.03+1.5ni △λ/λ)um n 是格數, i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差 |
儀器體積: | 280×500×700 mm |
儀器重量: | 40 kg |
二、儀器標準配件:
1 | 1、五筋園臺 |
2 | 九筋瑪瑙臺 |
3 | 可調園平臺 |
4 | 輔助臺 |
5 | 平面測帽 Ф2 |
6 | 小球面測帽 |
7 | 干涉濾光片 |
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