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極域真空鍍膜系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

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更新時間：2026-08-29 07:18:50瀏覽次數(shù)：66次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：極域 真空 鍍膜 系統(tǒng) 用途概述 極域真空鍍膜系統(tǒng)以真空性能與全域工藝覆蓋為內(nèi)核，成為半導(dǎo)體、光學、新能源等制造領(lǐng)域的設(shè)備，助力客戶突破鍍膜技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)高精度、高...

詳細介紹

  • 產(chǎn)品描述
極域真空鍍膜系統(tǒng)
用途概述
極域真空鍍膜系統(tǒng)以“真空性能”與“全域工藝覆蓋”為內(nèi)核，成為半導(dǎo)體、光學、新能源等制造領(lǐng)域的設(shè)備，助力客戶突破鍍膜技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)“高精度、高效率、”的智造升級。
產(chǎn)品特點
※HMDS蒸汽分子均勻聚合并精準附著于晶圓表面，實現(xiàn)納米級鍍膜均勻性；
※真空性能，高效真空泵可加快真空建立時間，支持快速啟停生產(chǎn)，確保工藝穩(wěn)定性；
※尾氣處理系統(tǒng)可降低HMDS采購成本，HMDS/有機溶劑回收率高，符合RoHS/REACH標準。
※采用PLC工控自動化系統(tǒng)，人機界面采用觸摸屏，可靠性高，操作智能方便；
※PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報警等，彩色觸摸屏顯示，控溫準確可靠；
※智能化觸摸屏控制系統(tǒng)，可根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。
※采用鋼化玻璃觀察窗，監(jiān)測方便，一體成型的硅橡膠門封，確保箱內(nèi)密封性好；
※腔體呈立方體或長方體，棱角分明，直角設(shè)計增強抗壓性能，內(nèi)部空間利用率高；
※低真空鍍膜工藝的密閉腔體結(jié)構(gòu)，真空環(huán)境可控，確保鍍膜過程無污染、無泄漏；
※承載均勻涂布與多工藝集成，支持蒸發(fā)、濺射、MBE、PLD等多工藝模塊的智能融合，可一次處理4盒晶片。
※采用鋼化玻璃觀察窗，監(jiān)測方便，內(nèi)膽不銹鋼，無易燃易爆裝置，無發(fā)塵材料，一體成型的硅橡膠門封，確保箱內(nèi)密封性好。
 
極 高真空/低真 空精準控制 1.極限真空，象征對真空環(huán)境的高精度控制能力；
2.性能，核心參數(shù)(鍍膜均勻性、工藝穩(wěn)定性等)達行業(yè)。
域 溫度、壓力 1.工藝可控域：精密調(diào)控溫度場、壓力梯度等工藝參數(shù)；
2.技術(shù)覆蓋域：兼容蒸發(fā)、濺射、離子鍍等多種鍍膜技術(shù)，適配多樣化生產(chǎn)。
 
 
應(yīng)用場景		 半導(dǎo)體制造 1.工藝可控域：精密調(diào)控溫度場、壓力梯度等；
2.技術(shù)覆蓋域：兼容多種鍍膜技術(shù)，適配多樣化生產(chǎn)。
光學器件鍍膜 1.光學鏡頭抗反射膜(AR)、紅外濾光片多層膜；
2.激光器腔鏡高反射膜(HR)、分光膜。
新能源與新材料 1.鈣鈦礦太陽能電池電極層(ITO/Ag)沉積；
2.柔性顯示面板(OLED)透明導(dǎo)電膜(AZO)鍍制。
 
工藝適配		 工藝類型 物理氣相沉積(PVD):磁控濺射、電弧離子鍍、電子束蒸發(fā)；
化學氣相沉積(CVD):等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)。
鍍膜材料 金屬(Al、Cu、Ag)、氧化物(Al?O? 、TiO?)、氮化物(TiN、SiN)等。
 
 
 
典型應(yīng)用		 半導(dǎo)體代工 應(yīng)用場景：3nm邏輯芯片金屬互聯(lián)層沉積；
客戶價值：提升芯片良率15%,降低電遷移失效風險。
光學鏡頭制造 應(yīng)用場景：8K超高清鏡頭抗反射膜鍍制；
客戶價值：反射率<0.1%,透光率>99.5%(400-700nm波段)。
鈣鈦礦光伏 應(yīng)用場景：大面積鈣鈦礦電池電極層連續(xù)鍍膜；
客戶價值：電池轉(zhuǎn)換效率突破26%,成本降低30%。
航空航天 應(yīng)用場景：衛(wèi)星光學載荷耐輻射保護膜沉積；
客戶價值：通過ISO-15860空間環(huán)境模擬認證。
 
技術(shù)參數(shù)
型號 ZDM-90V ZDM-125V ZDM-215V
電源電壓 AC 220V 50Hz
控制系統(tǒng) PLC智能控制
儀表控制 彩色觸摸屏
控溫范圍 RT+10-200℃
溫度分辨率 0.1℃
溫度波動度 ±0.1
真空度 ≤133pa
內(nèi)膽尺寸 450*450*450 500*500*500 550*550*650
容積 90L   125L 210L
載物托架 2層 3層 3層

關(guān)鍵詞：真空泵
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