百級無塵恒凈干燥箱
用途概述
百級無塵恒凈干燥箱又稱潔凈干燥箱、無塵烘箱，適用于無塵車間的各種工件的熱處理以及電子產品的老化等作用，以保證工件的精度和潔凈度。如電子液晶顯示、LCD，CMOS，IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門，也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。半導體制造中硅片、鈮酸鋰、砷化錦、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤等。
產品特點
※采用智能溫控系統(tǒng)，具有自動恒溫，升降溫、溫度定時等控制功能，控制精確可靠；
※具有鎖屏密碼，可選配三級權限和審計追蹤功能，可回放或導出實驗數(shù)據(jù)及運行和操作者信息；
※彩色觸摸屏，PID自整定，支持參數(shù)設置、程序升溫、遠程監(jiān)控、報警記錄查詢及USB數(shù)據(jù)導出可選配RS-485接口，接入實驗室MES系統(tǒng)。
※內膽采用316不銹鋼，全周氬焊，外殼表面靜電鍍膜噴涂，經(jīng)典耐用，溫場均勻可靠；
※采用多層隔熱及螺旋風道設計，內置風機形成正壓循環(huán)，實時排出顆粒物，避免停機后潔凈度衰減；
※內置高效過濾器（H14），過濾效率達99.995%，實時監(jiān)測并維持百級潔凈度，避免傳統(tǒng)干燥箱“靜態(tài)潔凈”導致的二次污染。
※過溫斷電、壓力平衡設計，符合GMP、ISO14644及半導體行業(yè)SEMI標準；
※具有缺相檢測、自診斷、漏電、風機過熱、短路、過載、缺相保護等安全裝置；
※具有斷偶及超溫自動停止加熱并報警，來電恢復、自診斷、突發(fā)情況參數(shù)自動保存等功能；
※設備運行過程中突然出現(xiàn)故障，儀表屏幕會有明顯標識及代碼，便于快速排除故障解決問題。
應用領域
※科研機構：高校實驗室、材料研究所（如中科院、清華大學）；
※食品化工：高純度試劑、納米材料干燥（如新和成、萬華化學）；
※生物制藥：疫苗研發(fā)、無菌原料藥干燥（如藥明康德、恒瑞醫(yī)藥）；
※半導體/光電：晶圓切割片、光學鏡片低氧干燥（如中芯國際、京儀集團）。
| 項目 | 中國GMP/歐洲GMP | USP | ISO | 習慣分級 |
| 懸浮粒子個/m3 | 級別 | 靜態(tài) | 動態(tài) | 級別 | 動態(tài) | 級別 | 動態(tài) |
| ≥0.5um | ≥5um | ≥0.5um | ≥5um | ≥0.5um | ≥5um | ≥0.5um | ≥5um |
| A | 3520 | 20 | 3520 | 20 | M3.5 | 3530 | 100 | 4.8 | 2220 | 20 | 100 |
| B | 3520 | 29 | 352000 | 2900 | - | - | - | 5.0 | 3520 | 29 | 1000 |
| C | 352000 | 2900 | 3520000 | 2900 | M5.5 | 353000 | 10000 | 7.0 | 352000 | 2930 | 10000 |
| 8.0 | 3520000 | 29300 | 100000 |
| D | 3520000 | 29000 | 不做規(guī)定 | 不做規(guī)定 | M6.5 | 3530000 | 100000 | 8.0 | 3520000 | 29300 | 100000 |
中國與歐盟的GMP將潔凈區(qū)按A，B，C，D進行分類，USP與ISO以數(shù)字分級。以ISO 5.0的標準控制≥0.5um的粒子，以ISO 4.8的標準控制≥5um的粒子。
| 型號 | TBJ-180 | TBJ-270 | TBJ-480 | TBJ-980 |
| 溫度控制器 | 彩色觸摸屏 |
| 潔凈等級 | Class100 |
| 過濾器 | 耐高溫高效空氣過濾器 |
| 溫度范圍 | RT+50～250℃ |
| 溫度均勻度 | ±2.5%℃ |
| 溫度波動度 | ≤±1℃ |
| 工作室含塵度 | 0.5μm≤含塵度≤3.5μm |
| 循環(huán)方式 | 強制對流 |
| 電源電壓 | AC220V 50Hz | AC380V 50Hz |
| 額定功率 | 3500W | 5500W | 9000W | 15000W |
| 工作室尺寸mm | 600*500*600 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 1400*700*1000 |
| 容積 | 180L | 270L | 480L | 980L |
| 載物托架 | 2 |
| 擱板承重 | <30KG(可定制承重≥30kg) |
| 定時范圍 | 1～9999min |
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