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查韋斯技術(shù)(上海)有限公司
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所 在 地上海市
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更新時間:2025-09-06 15:15:53瀏覽次數(shù):242次
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不銹鋼法蘭真空隔膜閥是專為嚴苛工況設計的流體控制設備,通過法蘭連接與彈性隔膜密封相結(jié)合的方式,實現(xiàn)-0.1MPa至1.6MPa壓力范圍內(nèi)的介質(zhì)隔離控制。閥體采用316L不銹鋼精密鑄造,配合PTFE/氟橡膠復合隔膜,兼具金屬結(jié)構(gòu)強度與非金屬密封優(yōu)勢
不銹鋼法蘭真空隔膜閥不銹鋼法蘭真空隔膜閥
典型特性包括:
潔凈設計:流道鏡面拋光(Ra≤0.4μm),符合GMP標準
零泄漏:氦氣檢漏率≤1×10??Pa·m3/s
寬溫域:-30℃至+150℃連續(xù)工作
多驅(qū)動方式:支持手動、氣動(0.4-0.7MPa)、電動(24VDC/220VAC)三種操作模式
主要應用于半導體晶圓加工、疫苗生產(chǎn)線、航天器地面測試系統(tǒng)等對潔凈度與密封性要求嚴格的領(lǐng)域。
1. 創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設計
隔離腔體:采用雙法蘭夾持結(jié)構(gòu),將驅(qū)動機構(gòu)(上部)與介質(zhì)通道(下部)物理隔離
動態(tài)密封系統(tǒng):三層PTFE增強隔膜配合金屬閥座,耐壓差能力提升至2.5倍標準值
快拆維護:閥蓋螺栓采用均布設計,15分鐘內(nèi)可完成隔膜更換
2. 關(guān)鍵性能驗證
項目 | 測試標準 | 典型值 |
|---|---|---|
真空保持 | ISO 1609 | ≤5×10??mbar·L/s |
壽命測試 | ANSI/FCI 70-2 | ≥100,000次循環(huán) |
耐腐蝕性 | ASTM G31 | 0.01mm/年腐蝕率 |
3. 特殊工況適配
低溫環(huán)境:選配低溫密封脂,-196℃液氮工況下仍保持彈性
顆粒介質(zhì):加裝刮刀式閥瓣,可處理含≤100μm固體顆粒的漿料
無菌要求:提供蒸汽滅菌接口(SIP),耐受121℃飽和蒸汽
4. 智能化升級
狀態(tài)監(jiān)測:集成應變傳感器實時檢測隔膜形變量
數(shù)據(jù)交互:支持PROFIBUS DP通訊協(xié)議,可接入DCS系統(tǒng)
5. 選型指南
尺寸選擇:DN10-DN150全系列覆蓋,特殊尺寸支持非標定制
材料組合:
腐蝕性介質(zhì):哈氏合金閥體+Kalrez®隔膜
超高真空:金屬波紋管密封+陶瓷涂層
驗證文件:提供材料證書(3.1)、真空測試報告、潔凈室裝配記錄
典型特性包括:
潔凈設計:流道鏡面拋光(Ra≤0.4μm),符合GMP標準
零泄漏:氦氣檢漏率≤1×10??Pa·m3/s
寬溫域:-30℃至+150℃連續(xù)工作
多驅(qū)動方式:支持手動、氣動(0.4-0.7MPa)、電動(24VDC/220VAC)三種操作模式
主要應用于半導體晶圓加工、疫苗生產(chǎn)線、航天器地面測試系統(tǒng)等對潔凈度與密封性要求嚴格的領(lǐng)域。
1. 創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設計
隔離腔體:采用雙法蘭夾持結(jié)構(gòu),將驅(qū)動機構(gòu)(上部)與介質(zhì)通道(下部)物理隔離
動態(tài)密封系統(tǒng):三層PTFE增強隔膜配合金屬閥座,耐壓差能力提升至2.5倍標準值
快拆維護:閥蓋螺栓采用均布設計,15分鐘內(nèi)可完成隔膜更換
2. 關(guān)鍵性能驗證
項目 | 測試標準 | 典型值 |
|---|---|---|
真空保持 | ISO 1609 | ≤5×10??mbar·L/s |
壽命測試 | ANSI/FCI 70-2 | ≥100,000次循環(huán) |
耐腐蝕性 | ASTM G31 | 0.01mm/年腐蝕率 |
3. 特殊工況適配
低溫環(huán)境:選配低溫密封脂,-196℃液氮工況下仍保持彈性
顆粒介質(zhì):加裝刮刀式閥瓣,可處理含≤100μm固體顆粒的漿料
無菌要求:提供蒸汽滅菌接口(SIP),耐受121℃飽和蒸汽
4. 智能化升級
狀態(tài)監(jiān)測:集成應變傳感器實時檢測隔膜形變量
數(shù)據(jù)交互:支持PROFIBUS DP通訊協(xié)議,可接入DCS系統(tǒng)
5. 選型指南
尺寸選擇:DN10-DN150全系列覆蓋,特殊尺寸支持非標定制
材料組合:
腐蝕性介質(zhì):哈氏合金閥體+Kalrez®隔膜
超高真空:金屬波紋管密封+陶瓷涂層
驗證文件:提供材料證書(3.1)、真空測試報告、潔凈室裝配記錄
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