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埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

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埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

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日本YAMATO雅馬拓-等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS13. 56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE:DP雙模式。特點(diǎn)硅晶圓的灰化及蝕刻?；灞砻嫖酃柑幚?。IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。自然氧化膜·有機(jī)物去除。界面活性處理。表面污染物去除。