惰性氣體氧氣氫氣純化器

9NP系列高性能氣體凈化器采用常溫催化技術(shù)，通過化學(xué)反應(yīng)和物理吸附相結(jié)合，在常溫下將工藝氣體中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等雜質(zhì)去除至1ppb以下。此外，316L不銹鋼內(nèi)膽內(nèi)置過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器，內(nèi)表面經(jīng)過電化學(xué)拋光處理。主要用于氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣的凈化，可以大大去除氣體中含有的氧氣、氮?dú)狻錃?、二氧化碳、碳氧化物、碳?xì)浠衔?、水等雜質(zhì)。為ICP-MS、ICP-MS、原子吸收光譜、氣相色譜、液相色譜、GC-MS等提供高純度惰性氣體。以確保良好的惰性氣氛。

常溫下流量范圍1-2000slm的出口氣體雜質(zhì)含量小于1ppb，內(nèi)置0.003微米316L SS過濾器的316L SS EP凈化罐99%氦檢漏，可配置二閥、三閥、四閥等閥門組件，可原廠認(rèn)證回收CE。使用成本低。

惰性氣體氧氣氫氣純化器純化指標(biāo)

*表格中僅列出典型的氣體類型和常見的可純化氣體，更多氣體純化應(yīng)用請與埃登威聯(lián)系。

惰性氣體氧氣氫氣純化器型號說明

表格中僅列出標(biāo)準(zhǔn)流量、指標(biāo)和配置，更多特殊要求請與埃登威聯(lián)系。

惰性氣體氧氣氫氣純化器產(chǎn)品應(yīng)用

集成電路制造 半導(dǎo)體分立器件制造 硅片、襯底、外延片生產(chǎn) LED、激光器制造 高效太陽能電池生產(chǎn) 光纖預(yù)制棒生產(chǎn) 眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套 超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn) 吹掃氣體、載氣及零點(diǎn)氣體純化 大學(xué)和研究所等科研機(jī)構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)

氫氣凈化裝置的工作原理:采用非蒸散性鋯鋁合金16吸氣劑作為凈化劑。吸氣劑主要由Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等金屬間化合物組成。它具有高活性和低擴(kuò)散活化能。氣體吸附在表面時(shí)，在一定溫度下會很容易擴(kuò)散到體內(nèi)，具有吸雜率高、吸雜量大的特點(diǎn)?；罨?，它能在*佳吸氣溫度范圍內(nèi)有效吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水。