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參考價	面議

產(chǎn)品簡介

日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表MODEL EX-550 SERIES它是一款全金屬MFC,配備高速繞線傳感器，縣有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。SEMI兼容106mm (可選擇124mm)表面，R S485通信是標準配置。高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品，1.0%SP。EX-700EX-250S金屬密封結構高速應答及出色的零點穩(wěn)定性0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源可從±15 V或2

詳細介紹

日本KOFLOC小島-全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表MODEL EX-550 SERIES

它是一款全金屬MFC,配備高速繞線傳感器，縣有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。

SEMI兼容106mm (可選擇124mm)表面，R S485通信是標準配置。

高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品，1.0%SP。

EX-700

EX-250S

金屬密封結構
高速應答及出色的零點穩(wěn)定性
0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源
可從±15 V或24 V單電源選擇
□電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
通過切換旋轉開關，可以使用主機中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計算出的值
標準配備通訊功能（RS485）
符合RoHS?CE標準

圖片關鍵詞

EX-550標準規(guī)格

形式		質(zhì)量流量控制器 EX-550C	質(zhì)量流量計 EX-550M
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例螺線管閥門（未通電時關閉）	–
目標氣體（* 1）		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等（未列出的氣體換算成N2）
流量范圍（* 2）		10 SCCM~5 SLM
控制范圍（測量范圍）		2~100％（F.S.）
響應速度		總流量控制范圍在1sec內(nèi)（within±2%F.S.）
響應速度		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa	–
精度		±1.0％SP（25％FS至100％FS），±0.25％FS（25％FS）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
工作壓差（* 3）		50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa）	–
*大入口壓力		350kPa（G）
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
溫度	允許周圍溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲存溫度	-10～60℃
允許環(huán)境濕度		10～90%RH （無結露）
氣體接觸材料		SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co
電氣連接		Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） HR-10A×2
流量設定輸入信號		0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω）	–
流量輸出信號		0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負載電阻500Ω以下）
數(shù)字通信		通過RS485旋轉開關設置地址
所需電源（DC）		+15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下）
接頭		相當于1/4 VCR
安裝姿勢		未指定
重量		約800g	約550g