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參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡介

日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量控制器HFC-303 SERIES質(zhì)量流量控制器，適翻于高流量HFC-303 SERIESHFC-303是一種質(zhì)量流縣控制器。通過結(jié)合電磁式先導(dǎo)閥和為大流縣控制開發(fā)的氣動流顯控制閥，可實(shí)現(xiàn)大流雖的高精度氣體控制，這在過去很難實(shí)現(xiàn)。作為HFC-203系列的后續(xù)產(chǎn)品，HFC 203系列已廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，是一種新型號，可實(shí)現(xiàn)更高的精度和高速響應(yīng)。采用兩級控制閥，支持高達(dá)

詳細(xì)介紹

日本KOFLOC小島-質(zhì)量流量控制器HFC-303 SERIES

質(zhì)量流量控制器，適翻于高流量

HFC-303 SERIES

HFC-303是一種質(zhì)量流縣控制器。通過結(jié)合電磁式先導(dǎo)閥和為大流縣控制開發(fā)的氣動流顯控制閥，可實(shí)現(xiàn)大流

雖的高精度氣體控制，這在過去很難實(shí)現(xiàn)。

作為HFC-203系列的后續(xù)產(chǎn)品，HFC 203系列已廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，是一種新型號，可實(shí)現(xiàn)更高的精度和高

速響應(yīng)。

采用兩級控制閥，支持高達(dá)1000 SLM的高流量
即使流量大，也能實(shí)現(xiàn)±1.0％的高精度
確保傳統(tǒng)型號的高速響應(yīng)性能
如果流量超過1000 SLM，請與我們聯(lián)系

圖片關(guān)鍵詞

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	100?300 SLM（可選）	301?1000 SLM（可選
傳感器方式	熱繞組傳感器
閥門方式	比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉）
控制范圍	2~100％（F.S.）	5~100％（F.S.）
準(zhǔn)確性	±1％F.S.（25°C）
溫度系數(shù)	0.1％F.S./°C（15~35°C）	0.2％F.S./°C（15~35°C）
再現(xiàn)性	±0.25%F.S.
壓差	個(gè)人反應(yīng)
耐壓	3.4MPa（G）（HP選項(xiàng)6.8MPa（G））
He泄漏率（* 1）	1 x 10-7 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	5~45℃
允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結(jié)露）
氣體接觸材料	主體SUS316，Ni，SUS302
	隔膜FKM
	閥座FKM
	密封材料FKM（選件CR，Kallets）
電氣連接	Dsub 15針
流量設(shè)定輸入信號	0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號	0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）150 mA， -15 VDC（±5％）300 mA
配件（車身尺寸）	標(biāo)準(zhǔn)1/2 SWL（3 / 4.16 UNF）	標(biāo)準(zhǔn)3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF）

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。

接線連接（D-sub 15PIN）

PIN	信號名稱	PIN	信號名稱
1	NC	9	電源-15VDC
2	NC	10	NC
3	NC	11	電源+ 15VDC
4	NC	12	電源COM
5	電源COM	13	NC
6	輸出信號0-5V	14	設(shè)定信號
7	NC	15	NC
8	強(qiáng)制閥門打開/關(guān)閉