半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀采用對(duì)水分敏感的石英晶體微平衡傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)石英振蕩傳感器，具有抗污染，無(wú)漂移等優(yōu)點(diǎn)，測(cè)試范圍可低至-120度露點(diǎn)儀，也就是ppb微量水分析儀，半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體高純氣體，新材料特種氣體及研發(fā)機(jī)構(gòu)中應(yīng)用廣泛，是為數(shù)不多的石英振蕩技術(shù)實(shí)力派之一。

半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀

半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀采用對(duì)水分敏感的石英晶體微平衡傳感器，簡(jiǎn)稱(chēng)石英振蕩傳感器，具有抗污染，無(wú)漂移等優(yōu)點(diǎn)，測(cè)試范圍可低至-120度露點(diǎn)儀，也就是ppb微量水分析儀，半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體高純氣體，新材料特種氣體及研發(fā)機(jī)構(gòu)中應(yīng)用廣泛，是為數(shù)不多的石英振蕩技術(shù)實(shí)力派之一。石英晶體振蕩露點(diǎn)儀

1. 半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀特點(diǎn)
   
2. 全量程從0.001 ~ 2000 ppmV 范圍，實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量
3. 使用簡(jiǎn)便，現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)方便快捷，維護(hù)成本低
4. 精度高達(dá) 0.01ppmV，取較大值
5. 半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀針對(duì)變化中取樣條件進(jìn)行可靠的測(cè)量 — 根據(jù)樣氣壓力和流量的變化進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整
6. 
   
7. 不受背景氣體組分改變的影響
8. 維護(hù)間隔時(shí)間長(zhǎng)
9. 十分鐘時(shí)間就可以替換干燥筒
10. 直觀的菜單界面
11. Ethernet 或者 USB 數(shù)字通訊
12. SD 卡數(shù)據(jù)記錄
13. SD 可選內(nèi)置取樣系統(tǒng)和旁路

 

三、半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

 

性能
測(cè)量技術(shù)	快速響應(yīng)的石英晶振技術(shù)
范圍	校驗(yàn)范圍 0.1 到 2000ppmv
精度	0.01 ppmV （ 0.001 ~ 1 ppmV） 讀數(shù)的 ±10%（1 ~ 2000 ppmV）
重復(fù)性	±0.01 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV） 讀數(shù)的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV）
測(cè)量單位	ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf
響應(yīng)速度	T63 <2 分鐘 T95 <5 分鐘
靈敏度	0.001 ppmV 或讀數(shù)的1%，取較大值
自我校驗(yàn)	內(nèi)置濕度發(fā)生器作為標(biāo)準(zhǔn)源 校驗(yàn)可溯源到 NPL & NIST
靈敏度	0.001ppmv 或 1% 讀數(shù)，取zui大
顯示
半導(dǎo)體高純氣露點(diǎn)儀	可選
模擬輸出	2 路可選4–20 mA 或1 到 5 V
數(shù)字輸出	基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet傳輸
數(shù)據(jù)記錄	直接記錄到 SD 卡或通過(guò) PC 應(yīng)用軟件傳輸
報(bào)警	1 x 系統(tǒng)警報(bào)，干接點(diǎn)(FORM C)
電源	24V
工作條件
進(jìn)氣壓力	1 barg
出氣壓力	大氣壓
樣氣流量	300ml/分鐘 總流量 @ 大氣壓
樣氣溫度	0 ~ +100°C
工作環(huán)境	室內(nèi)：+5 ~ +46°C，zui高達(dá)到90% RH
機(jī)械性能
外殼	不銹鋼
氣體接口	G1/2英寸
重量	0.2Kg

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