ppb微量水分析儀

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在很多純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過(guò)程處理的正常運(yùn)作重要。一直以來(lái)，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者貴的分析技術(shù)。意大利ADEV儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來(lái)在線測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。 
QZ360超低露點(diǎn)微量水分析儀是基于ADEV儀表多年在晶體振蕩領(lǐng)域生產(chǎn)和校驗(yàn)的經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和純氣體應(yīng)用的低位變送器。高純氣體露點(diǎn)儀

ppb微量水分析儀亮點(diǎn)
o真正實(shí)現(xiàn)測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)，不同于傳統(tǒng)的阻容方法
o測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好
o集成的采樣裝置關(guān)鍵詞：激光氧分析儀|反應(yīng)釜氧分析儀|進(jìn)口激光氧|進(jìn)口氧分析儀|西門(mén)子U23分析儀|ppb微量水分析儀|頂空分析儀|U23氣體分析儀|藥品殘氧儀|進(jìn)口露點(diǎn)儀|順磁氧分析儀|微量氧分析儀|高溫濕度儀|煙氣露點(diǎn)儀|燃?xì)鉄嶂祪x||煙氣濕度儀|頂空氣體分析儀 |高溫露點(diǎn)儀
o模擬和數(shù)字輸出
o安裝簡(jiǎn)便
oVCR 過(guò)程接口
o設(shè)計(jì)緊湊小巧
o顯示/報(bào)警單元可選

?ppb微量水分析儀 技術(shù)指標(biāo)
傳感器
傳感器類型
ADEV晶體振蕩傳感器
ppb微量水分析儀量程
-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)

ppm測(cè)試范圍0.001-500ppm/1000ppm

ppb微量水分析儀精度
±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±3°C   -101 ~ -120°C 
分辨率
0.000001°C        -40 ~ -79.9°C;
0.00001°C           -80 ~ -100°C;
0.001°C              -100 ~ -120°C
壓力
低 10-9 torr; 大 24 MPa關(guān)鍵詞：激光氧分析儀|反應(yīng)釜氧分析儀|進(jìn)口激光氧|進(jìn)口氧分析儀|西門(mén)子U23分析儀|ppb微量水分析儀|頂空分析儀|U23氣體分析儀|藥品殘氧儀|進(jìn)口露點(diǎn)儀|順磁氧分析儀|微量氧分析儀|高溫濕度儀|煙氣露點(diǎn)儀|燃?xì)鉄嶂祪x||煙氣濕度儀|頂空氣體分析儀 |高溫露點(diǎn)儀
氣體流量
1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源
通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出
4-20 mA 輸出,
輸出出錯(cuò)狀態(tài)
標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 上限; 4 mA = 下限
機(jī)械性能
傳感器套筒
不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
 
 
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QZ360 Sensor 型: ?" m VCR 接口
重量
220G
包裝
雙層包裝, 惰性氣體填充密封
選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

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