ET-R101FS型激光塵埃粒子計數(shù)器（在線）

品牌：etiedt奕泰凈科

一、概述：

ET-R101FS型激光塵埃粒子計數(shù)器,是蘇州奕泰環(huán)境科技有限公司在線監(jiān)測系統(tǒng)的產(chǎn)品之一。檢測最小粒徑檔可達0.1μm,可檢測ISO7-ISO1的潔凈環(huán)境,采樣流量2.83L/min,專為半導(dǎo)體行業(yè)高精度潔凈環(huán)境檢測設(shè)計,突破傳統(tǒng)精度局限，精準捕捉光刻膠揮發(fā),設(shè)備磨損產(chǎn)生的亞微米污染顆粒,滿足納米制程對ISO1級潔凈度的嚴苛要求。儀器具有檢測精度高,人機界面友好,功能豐富,操作簡單。

本產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、新能源、精密機械，化學(xué)、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天，等部門。

二、特點：

◆304不銹鋼殼體（可定制航空鋁材）

◆5.0超大高清彩色觸控屏，操作簡單

◆最小檢測粒徑0.1μm，八通道

◆約500萬條數(shù)據(jù)存儲+USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出+云端互聯(lián)

◆支持SCADA/MES系統(tǒng)對接

◆ESD安全智能電源管理系統(tǒng)

◆ISO 14644-1潔凈度等級報告自動生成

◆主動流量控制PID自動調(diào)節(jié)

◆防爆需求定制，防爆僅針對于外殼防爆，具體根據(jù)客戶需求進行一對一定制。

三、性能：

◆采樣流量：2.83L/min ±5% （0.1 CFM）
◆粒徑分布誤差；國優(yōu)±20%FS
◆示值濃度誤差；國優(yōu)±20%FS
◆自凈時間；國優(yōu)≤8min
◆重復(fù)性相對誤差；國優(yōu)≤8%FS
◆采樣濃度，35000顆/升
◆至少5，000，000條采樣數(shù)據(jù)存儲

四、應(yīng)用：

半導(dǎo)體潔凈廠房檢測；

晶圓封裝產(chǎn)品線監(jiān)測；

光刻產(chǎn)線監(jiān)測；

精密光學(xué)；

新能源；

航空航天；

五、技術(shù)參數(shù)：

六、etiedt奕泰凈科：

蘇州奕泰環(huán)境科技有限公司國產(chǎn)潔凈環(huán)境檢測儀器智能化創(chuàng)新應(yīng)用專業(yè)前沿企業(yè)；

進口儀器國產(chǎn)化替代品牌新勢力；

國內(nèi)凈化品牌服務(wù)商，凈化優(yōu)質(zhì)服務(wù)商；

潔凈微環(huán)境智能監(jiān)測儀器全套解決方案專業(yè)企業(yè)

半導(dǎo)體潔凈環(huán)境檢測，奕泰凈科E系列激光塵埃粒子計數(shù)器檢測等級可滿足十級至三十萬級環(huán)境檢測；

在線0.1μm塵埃粒子計數(shù)器在線監(jiān)測系統(tǒng)；

在線0.1μm塵埃粒子計數(shù)器遠程環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)