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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
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品 牌其他品牌
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所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2026-05-21 15:26:36瀏覽次數(shù)：71次
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JKZC-X-16B單軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。
JKZC-X-16B單軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)
JKZC-X-16B單軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。
1、典型應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動(dòng)光學(xué)
超分辨成像樣品移動(dòng)
大范圍電子束直寫(EBL)
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測(cè)
高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術(shù)特點(diǎn)
超長(zhǎng)行程:16mm
高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm
超高精度:最小步長(zhǎng)50nm
運(yùn)動(dòng)速度:可達(dá)10mm/s
穩(wěn)定性:保持力可達(dá)3N
超高真空兼容性
運(yùn)動(dòng)模式:支持開環(huán)與閉環(huán)
輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性
模塊化設(shè)計(jì)，摩擦單元可替換
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-X-16B | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)軸數(shù) | 1 | |
行程 | 16 | mm |
保持力(Force) | 3 | N |
承載力(Load) | 10 | N |
尺寸(LxWxH) | 50x50x12.5 | mm |
自重 | 75 | g |
速度 | 5 | mm/s |
分辨率 | 12.5 | nm |
最小步長(zhǎng) | 50 | nm |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺) | |
電氣接口 | D-sub(可定制） | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar |
5、適配控制器
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