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JKZC-XY-16A 雙軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)

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參考價(jià): ￥ 555

訂貨量: ≥1 把

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2026-05-21 15:05:43瀏覽次數(shù)：92次

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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品新舊	全新

JKZC-XY-16A雙軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

詳細(xì)介紹

JKZC-XY-16A 雙軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)

JKZC-XY-16A 雙軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)

1、典型應(yīng)用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動(dòng)光宇

超分辨成像樣品移動(dòng)

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測(cè)

高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術(shù)特點(diǎn)

超長(zhǎng)行程:16mm

高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm

超高精度:最小步長(zhǎng)2nm

運(yùn)動(dòng)速度:可達(dá)5mm/s

穩(wěn)定性:保持力可達(dá)3N

超高真空兼容性

運(yùn)動(dòng)模式:支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性

模塊化設(shè)計(jì)，摩擦單元可替換

3、2D尺寸圖

JKZC-XY-16A 雙軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-XY-16A	單位
運(yùn)動(dòng)軸數(shù)	2
行程	16	mm
保持力(Force)	3	N
大承載力(Load)	20	N
尺寸(LxWxH)	52x52x22.5	mm
自重	135	g
大速度	5	mm/s
分辨率	1.22	nm
最小步長(zhǎng)	2	nm
傳感器類型	光柵編碼器(玻璃柵尺)
電氣接口	D-sub9(可定制)
線纜長(zhǎng)度	2	m
材料	鋁合金/鈦合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10")	mbar