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JKZC-XY-100A雙軸長行程壓電滑臺

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參考價: ￥ 555

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更新時間：2026-05-21 14:46:53瀏覽次數(shù)：92次

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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	產(chǎn)品新舊	全新

JKZC-XY-100A 雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

詳細(xì)介紹

JKZC-XY-100A雙軸長行程壓電滑臺

JKZC-XY-100A 雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。

JKZC-XY-100A雙軸長行程壓電滑臺

1、典型應(yīng)用

掃描電鏡(SEM)樣品操縱

主動光學(xué)

超分辨成像樣品移動

大范圍電子束直寫(EBL)

微納裝備及制造

集成電路制造與檢測

高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿

納米聚焦與掃描

顯微及納米CT

2、技術(shù)特點

超長行程:100mm

高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm

超高精度:最小步長2nm

運動速度:可達(dá)5mm/s

穩(wěn)定性:保持力可達(dá)3N

超高真空兼容性

運動模式:支持開環(huán)與閉環(huán)

輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性

模塊化設(shè)計，摩擦單元可替換

3、2D尺寸圖

JKZC-XY-100A雙軸長行程壓電滑臺

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-XY-100A	單位
運動軸數(shù)	2
行程	100	mm
保持力(Force)	3	N
大承載力(Load)	50(垂直方向)	N
尺寸(LxWxH)	175x175x40	mm
自重	2500	g
大速度	5	mm/s
分辨率	1.22	nm
最小步長	2	nm
傳感器類型	光柵編碼器(玻璃柵尺)
電氣接口	D-sub9(可定制)
線纜長度	2	m
材料	鋁合金/鈦合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10")	mbar