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電容式微位移傳感器(平板型)

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參考價(jià): ￥ 555

訂貨量: ≥1 把

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2026-05-21 14:19:14瀏覽次數(shù)：76次

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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品新舊	全新

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場(chǎng)變化時(shí)電容值的變化量來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測(cè)量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了測(cè)量分辨率、線性度以及高測(cè)量帶寬，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。

詳細(xì)介紹

電容式微位移傳感器(平板型)

電容式微位移傳感器(平板型)

1、典型應(yīng)用

納米級(jí)運(yùn)動(dòng)測(cè)量

精密光學(xué)制造

超精密機(jī)床

超精密面型測(cè)量

微細(xì)形變測(cè)量

集成電路制造

2、技術(shù)特點(diǎn)

百微米至數(shù)千微米級(jí)測(cè)量范圍

超高精度(皮米級(jí)極限分辨率)、高線性度、低漂移

高帶寬高動(dòng)態(tài)測(cè)量

可針對(duì)真空及空間等特殊環(huán)境定制

3、2D尺寸圖

電容式微位移傳感器(平板型)

4、規(guī)格參數(shù)

		JKZC06-100		JKZC10-200	單位
傳感器類型		電容式
直徑		4.8		8.9	mm
探測(cè)區(qū)直徑		2.3		5.8	mm
長(zhǎng)度		6		6	mm
屏蔽厚度		0.9		1.5	mm
量程		100		200	μm
分辨率RMS	2Hz	0.02		0.04	nm
	25Hz	0.04		0.08	nm
	1kHz	0.11		0.21	nm
	2kHZ	0.15		0.30	nm
線性度		0.015		0.015	%
默認(rèn)帶寬		2		2	kHZ
重復(fù)性		0.21		0.39	nm
工作溫度范圍		-20-100			℃
材質(zhì)		Aluminum 6061/ Invar 36/ Stainless steel 316/ Super invar 32-5
適用電纜		1.5m,2m, 2.5m
真空(何選)		超真空兼容(5x10^-9)			mbar
真空版型號(hào)		JKZC06-100-HV	JKZC12-200-HV