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北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
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更新時間：2026-05-21 11:13:15瀏覽次數(shù)：69次
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JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
高精度JKZC-IM系列
JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
1、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體封測
主動光學(xué)
生物技術(shù)
視覺裝配
顯微操縱
光纖校準(zhǔn)
2、技術(shù)特點
亞納米級定位穩(wěn)定性
納米級閉環(huán)運動分辨力
無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向
大負(fù)載
空間多自由度
各級真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
支持非標(biāo)定制 | JKZC-IM-86 | 單位 |
運動軸 | X,Y,Z,θX,θY,θZ | |
傳感器類型 | 光柵傳感器 | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
X/Y/Z閉環(huán)行程 | 10/10/6 | mm |
θX/θY/θZ閉環(huán)行程 | ±3/±3/±2 | * |
Z向最小位移增量 | 5 | nm |
θX,θY最小位移增量 | 15,15 | °μ |
Z向大速度 | 4 | mm/s |
θX,θY大速度 | 1.5 | °/s |
負(fù)載能力 | 3 | N |
材料 | 鋁合金 | |
自重 | 1.12 | kg |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ175x86.58 | mm |
5、適配控制器
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